판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293615240

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II
ID: 293615240
PVD Systems Front end metallization.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 반도체 및 관련 산업의 여러 CVD, etch 및 확산 프로세스 애플리케이션을 위해 설계된 원자로입니다. 고급 툴로, 탁월한 프로세스 성능, 반복 가능한 결과, 처리량 증가, 수명 연장 등을 제공할 수 있습니다. AKT Endura II는 이중 또는 단일 마이크로파 RF (Radio Frequency) 생성기를 사용하여 웨이퍼 표면의 에칭에 필요한 전원을 제공하는 인라인 RIE (Reactive-Ion Etch) 도구입니다. 2 챔버 (2 Chamber) 구성은 에칭 프로세스에 최대 2 개의 에치 가스를 사용합니다. 이 도구는 반응 가스를 탈취하고 에치 깊이를 정확하게 제어하기위한 선형 주사 전자 빔 (ESB) 을 특징으로합니다. ESB는 또한 작은 구조 에치를 지원하는 데 도움이됩니다. AMAT Endura II의 Endura RIE (E-RIE) 기술은 종점 의존성을 최소화하면서 반도체 구조의 균일 한 에칭을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Endura II는 전력 제어, 온도 조절, 흐름 제어, 노출 시간 제어, 반응성 이온 에칭 등 다양한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 또한 높은 수준의 기판 유연성을 제공하여 새로운 프로세스 환경 (process environment) 에 쉽게 적응할 수 있습니다. 엔두라 II (Endura II) 는 에치 (etch) 및 증착 (deposition) 애플리케이션을 위해 설계되었으며, 사용자가 한 단계 동안 동일한 챔버에서 두 프로세스를 모두 수행 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II에는 프로세스 자동화 및 최적화를 지원하는 독점 임베디드 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 프로세스의 반복 가능성, 전반적인 생산량 향상, IC 제작의 신뢰성 향상을 보장합니다. 또한 하드웨어와 소프트웨어 모두 내장된 안전 보장 장치 (Safety Safeguard) 를 통해 프로세스 및 인력의 안전을 보장합니다. 또한 모듈식 설계를 통해 쉽게 설치, 설치 및 유지 보수할 수 있습니다. AKT Endura II는 고품질 반도체 장치 생산을 위해 제작되었으며, 탁월한 프로세스 제어 및 최적화 기능을 제공합니다. '소형 설치 공간' 과 '효율적인 운영' 을 통해 운영 현장/연구/개발 애플리케이션에 모두 적합하며, 사용자는 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과와 처리량 증가의 혜택을 누릴 수 있습니다.
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