판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293593136
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ID: 293593136
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
PVD System, 12"
Process: Copper
Factory interface
PRI AC Box
SEC AC Box
(3) RF Generator racks
DI Water cooler
(2) Cryo compressors
Process chamber (1 / 4): Encore II Tan
Process chamber (2 / 3): Encore II Cu
Process chamber (C / D): RPC
Process chamber (E / F): Degas
(2) Electric distribution boxes
N2 Gun
ALCATEL ADS1202H Loadlock pump
ALCATEL ADS1202H Xfer pump
ALCATEL ADS1202H Pump (Chamber C)
ALCATEL ADS1202H Pump (Chamber D)
EDWARDS iH1000 Pump (Chamber E)
EDWARDS iH1000 Pump (Chamber F)
Missing parts:
Qty / Part number / Description
(2) / 0242-81627 / NSO Kits, XP Robots with enhanced high temp wrists and shipping case
(4) / 0010-29842 / Robot wrists CIP V2.3
(4) / 0200-06355 / Blades, ceramic open pocket conductive (ACB Blades)
(1) / 0190-25290 / LM Darp edge grip end effector KI (FI Robot blade)
(4) / 0190-41393 / NSK Drivers, 2-axis servo, 110 VAC F47
(1) / 0090-01629 / Assembly, transfer interlock with pos 5, 300mm
(1) / 0090-00353 / MF Buffer interlock PCB
(1) / 0190-24115 / PCB, CDN391R, D-I/O, 300 mm Endura
(2) / 0190-32372 / PCB, CDN396R, A-I/O, 300 mm Endura
(1) / 0190-05682 / PVD Dual chamber degas 208 V heater driver (Degas heat driver)
(1) / 0190-26701 / 0190-43081 / PVD 208 V Dual swill lamp degas driver (Degas lamp driver)
(1) / 0190-54040 / 0190-64793 / On-Board IS Controller (IS2000V Compatible) remote / Pump right mount (IS Controller)
(2) / 0190-54044 / 0190-64799 / Cryo compressors, 208 VAC Mit-ready 300 mm Endura II
(6) / - / Process chambers
(2) / - / RF Generator racks
(1) / - / Xfer Pump
(1) / - / Load lock pump
(4) / - / Chamber pumps (C,D,E,F)
(1) / - / DI Water cooler
(2) / - / Cryo compressors
(1) / - / FI Robot
(1) / - / FI Robot driver
(1) / - / XP Robot driver
(3) / 0190-41014 / LP PCBs
(2) / - / LP EV Modules
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 광범위한 고급 재료의 성장을 위해 특별히 설계된 고급 열 CVD 원자로입니다. 원자로는 Epi, MOCVD, Metal Alloy CVD 등과 같은 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 자동화된 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 및 열 프로세스 모듈 (Thermal Process Module) 과 같은 기능으로 구현된 이 원자로는 성장 매개변수를 고급 제어할 수 있습니다. 이 강력한 열 CVD 챔버는 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 및 기타 부식 내성 재료로 만들어져 내구성 및 장기 사용을 향상시킵니다. 원자로에는 25cm 직경의 쿼츠 보트 (quartz boat) 가 장착되어 있어 성장 영역을 극대화 할 수 있습니다. 8 인치 웨이퍼 오프셋과 결합 된 14 "의 챔버 높이가이 원자로를 고급 증착 공정에 대한 최적의 선택으로 만듭니다. AKT Endura II 원자로에는 PC 제어 프로세스 컨트롤러, 고급 2D/3D 패턴 생성기 및 기타 관련 구성 요소를 포함한 모든 자동 제어 세트가 포함되어 있습니다. 이 기능은 화학적 성장 과정을 정확하고 정확하게 제어하는 데 도움이됩니다. 이 챔버에는 프로세스 유연성을 향상시키기 위해 설계된 내장 진공 송풍기가 포함되어 있습니다. AMAT Endura II 원자로는 폐쇄 루프 온도 제어 및 압력 조절과 같은 고급 제어 기술을 사용하여 최대 10W/cm2의 로드 속도를 갖습니다. 원자로는 비활성 가스와 반응성 가스를 모두 사용할 수 있습니다. 또한, Endura II는 원치 않는 오염 물질과 입자를 제거하는 데 도움이되는 맞춤형 여과 시스템을 작동하도록 설계되었습니다. 이 고급 CVD 도구는 또한 높은 가스 플럭스 (gas flux), 높은 균일성, 높은 처리량을 제공하여 가장 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura II (APPLIED MATERIALS Endura II) 는 설치 공간이 작은 밀폐형 설계를 통해 생산 환경에 쉽게 맞출 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II는 모두 고급 증착 프로세스에 필요한 고급 기능을 갖춘 고급 원자로입니다.
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