판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II #293587508

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura II 원자로는 광범위한 화학 반응 및 공정을 수행하기 위해 강력하고 정확한 플랫폼을 제공하는 최첨단 화학 증기 증착 시스템입니다. 이 원자로는 화학 환경에서 가스 종을 도입하고 제어하는 저비용, 비 열 수단입니다. 화학 증기 증착, 유전체 박막 증착, 박막 에칭, 화학 가스 에칭과 같은 고급 기능이 있습니다. AKT 엔두라 II 원자로 (AKT Endura II reactor) 는 반응 실에 주입 된 다양한 화학 종을 사용하여 가스 전구체와 결합하여 얇은 필름 또는 에치 패턴을 형성합니다. "마이크로 '파 발전기 는 저압 으로 원자로 내 에" 플라즈마' 를 생성 시켜 화학 반응 을 촉진 시키는 데 사용 된다. 박막 증착의 경우, 반응물은 일반적으로 중합 또는 실란 (SiH4) 이다. 기판은 원자로 중앙에 배치되고, 반응성 종은 원자로 주변을 따라 위치한 콘센트 (outlet) 에서 챔버 (chamber) 에 주입된다. 그런 다음, 박막 증착 을 촉진 시키기 위해 기질 을 열 "에너지 '와 화학" 에너지' 에 모두 노출 시킨다. 화학 에칭의 경우, 하이드로 플루오로 카본 (HFC), 퍼플 루오로 카본 (PFC) 및 플루오린 기반 플라스마와 같은 다양한 에찬이 공정에 사용됩니다. 에찬트를 결합하여 에치 깊이를 높일 수 있습니다. "플라즈마 '는 자기장 에 의하여 생성 되며," 코일' 의 전류 를 변화 시켜 발생 시킨다. 이것은 기질의 화학 에칭을 가속화하는 플라즈마를 생성합니다. AMAT Endura II 원자로에는 반응 조건 및 공정 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 여러 센서가 장착되어 있습니다. 이 센서는 양극-음극 간극, 히터 온도, 강착 속도, 가스 수준, 가스압 및 온도 처리, 이상시 감지 및 경보 (alarm) 를 측정하는 데 사용됩니다. APPLIED MATERIALS Endura II 원자로는 프로세스 엔지니어를위한 매우 정확하고 비용 효율적인 솔루션입니다. 박막 증착 (Thin Film Deposition) 및 에칭 (Etching) 조건을 빠르고 정확하게 준비하는 기능을 제공하여 광범위한 산업에서 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 유연하고 다재다능하여 태양 전지에서 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display) 에 이르기까지 다양한 응용 분야에 적합한 고품질 필름을 제공합니다.