판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura II PreClean XT Turbo #9150312

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura II PreClean XT Turbo는 반도체 제작 프로세스에 사용하도록 설계된 온도 조절 원자로입니다. 열 산화, 빠른 열 처리, 반응성 이온 에칭, 포토 esist 스트립과 같은 고온 공정을 수행 할 수있는 견고한 다기능 원자로입니다. 이중 벽 석영 과립 디자인은 전체 공정 챔버 (process chamber) 전체에서 균일 한 온도 조절을 보장하며 낮은 온도 구배를 유지합니다. AMAT Endura II PreClean XT 터보 (Turbo) 원자로에는 산소 농도를 조정하기 위해 산소 밸브가 장착되어 공정 조건을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 공정에 대한 최적의 공기/산소 혼합물 (air/oxygen mixture) 을 보장하기 위해 유량을 지속적으로 조정할 수 있습니다. 저온 PreClean 프로세스는 반응 챔버에서 잠재적 오염 및 입자 축적을 감소시켜 다운타임 및 유지 보수를 최소화합니다. 이 공정 챔버 (Process Chamber) 는 아웃게싱에 대한 뛰어난 보호 기능과 더 나은 프로세스 반복성 및 일관된 웨이퍼 투 웨이퍼 (Wafer-to-Wafer) 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 입자와 불순물을 제거할뿐만 아니라 금속 이온 오염을 줄이는 데 도움이되는 고급 여과 시스템 (advanced filtration system) 덕분에 입자 및 금속 이온 오염을 최소화합니다. 원자로에는 또한 데이터 로깅, 레시피 처리, 프로세스 프로파일링, 장애 진단 등을 제공하는 고급 컨트롤러가 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura II PreClean XT Turbo 원자로의 사용자 친화성은 운영자가 제공하는 모든 이점을 활용할 수 있도록 보장합니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 작동하는 자동화된 시스템이며, 레시피를 손쉽게 만들고 저장할 수 있는 소프트웨어 (Software) 패키지가 장착되어 있습니다. 또한 직경 200mm (wafer) 까지 광범위한 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계되었습니다. 전반적으로 Endura II PreClean XT Turbo는 강력하고 신뢰할 수있는 원자로로, 고온 프로세스에 뛰어난 성능을 제공합니다. 고급 기능은 반복성, 균일성, 정확성을 보장하고, 다운타임과 유지 관리를 최소화하며, 챔버의 입자 및 금속 이온 오염을 줄이는 데 도움이됩니다. 사용자 친화적 인 설계로 모든 반도체 제작 프로세스에 이상적입니다.