판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura HP #9296943

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP는 실리콘 웨이퍼, 유리, 쿼츠 및 세라믹을 포함한 다양한 기판에 초박형 동적 재료 층을 증착시키는 데 사용되는 고성능 CVD (Chemical Vapor Deposition) 원자로입니다. 다재다능하고 견고한 설계로 실리콘 태양광 발전, 반도체 제조, 광학, MEMS 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. AMAT Endura HP는 독특한 6 면형 쿼츠 튜브를 갖춘 급진적 인 새로운 이중 축적기 디자인을 사용합니다. 이러한 최첨단 설계를 통해 사용자는 프로세스 영역 (process zone) 의 온도를 소스 영역 (source zone) 과 독립적으로 자동으로 조정할 수 있습니다. 이를 통해 장비는 가스 흐름을 정확하게 제어 할 수 있으며, 150 ~ 1050 ° C 사이의 강착 온도에서 기판 표면에서 우수한 균일 성을 달성합니다. 또한, 특허를받은 균일성 제어 기능을 통해 APPLIED MATERIALS Endura HP는 균일 한 레이어를 반복 가능한 정확도로 0.5 nm까지 배치 할 수 있습니다. Endura HP에는 통합 듀얼 로드 락 시스템 (dual-loadlock system) 및 쿼츠 보트 프리 크리스퍼 (pre-crisper) 및 하드 마스크 재료의 균일 한 증착을위한 고급 RF 소스를 포함한 다양한 모듈이 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 프로세스 유연성을 높이고, 주기 시간을 줄이고, 전기 (electrical) 애플리케이션과 광 (optical) 애플리케이션에서 모두 뛰어난 균일성을 얻을 수 있습니다. 이 장치는 또한 독점적 인 통합 질량 흐름 컨트롤러 (I-MFC) 를 통해 사용자가 닫힌 루프 머신에서 가스 흐름을 정확하게 모니터링하고 제어 할 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Endura HP는 타사 공급업체의 자동화 하드웨어 및 소프트웨어 통합을 위해 다양한 옵션을 제공합니다. 즉, 기존 운영 제품군과의 원활한 통합이 가능하며, 일상적인 작업 (task) 의 대부분을 자동화하여 생산성을 높일 수 있습니다. AMAT Endura HP는 사용자의 자원 활용도를 극대화하기 위해 고급 장애 진단 (fault diagnostics), 상태 표시기 (status indicator), 실시간 데이터 피드백 (feedback) 을 통해 프로세스 운영을 최적화할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura HP는 사용자 친화적이고 견고하며 신뢰성이 뛰어납니다. 여러 프로세스 영역 (process zone) 과 선명도 (pre-crisper) 를 통해 빠르고 정확한 작업을 간편하게 수행할 수 있으므로 원하는 결과를 신속하게 얻을 수 있습니다. EMC 의 첨단 기술과 혁신적인 기능을 활용하면 까다로운 애플리케이션을 위한 완벽한 선택이 가능해지며, 많은 산업 요구 사항에 적합한 경제적인 솔루션을 구축할 수 있습니다 (영문).