판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura E5500 #293602403
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura E5500은 증착 및 에치 프로세스를 사용하여 고성능 반도체 장치를 생성하는 웨이퍼 처리 장비입니다. 고급 디바이스 제작을 위한 높은 생산성, 안정성, 품질, 유연성을 제공하는 완벽한 생산성 수준 플랫폼입니다. 플라즈마 기반 시스템인 AMAT Endura E5500 (Endura E5500) 은 다양한 재료와 응용 프로그램에 대해 빠르고 안정적인 웨이퍼 처리를 지원합니다. APPLIED MATERIALS Endura E5500은 안정적이고 예측 가능하며 고품질의 프로세스 결과를 제공하는 직관적이고 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스 인 AMAT Endura Connect 소프트웨어로 구동됩니다. 이 장치는 또한 여러 프로세스 레시피, 동시 기판 로드, 언로드, 기판 특정 레시피 등을 통해 높은 처리량과 낮은 TCO (소유 비용) 를 제공합니다. Endura E5500은 첨단 챔버 성능을 갖추고 최고의 프로세스 기능과 효율성을 제공합니다. 원자로 혈장은 아르곤, 플루오로 카본, 수소, 질소 및 산소를 포함한 다양한 가스로 구성됩니다. 이 기계는 여러 전원 공급 장치 (power source) 와 가스 전달 시스템 (gas delivery system) 을 활용하여 공정의 균일성과 반복성을 향상시킵니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura E5500에는 처리 중 증착 및 에치 챔버에서 일정한 온도를 유지하기 위해 온도 조절 시스템이 장착되어 있습니다. 이는 반응의 안정성을 보장하고 실험의 재생성을 보장합니다. 최첨단 자동 교정 및 유지 보수 (maintenance) 기능을 통해 프로세스를 빠르고 간편하게 수행하고 다운타임을 최소화하고 운영 처리량을 극대화할 수 있습니다. AMAT Endura E5500은 사전 프로그래밍 된 웨이퍼 로딩, 기판 전송 및 프로세스 모니터링을 포함한 도구 자동화 기능도 제공합니다. 이를 통해 정확한 웨이퍼 분석과 정확한 프로세스 제어가 가능합니다. 또한 실시간 모니터링 및 진단 (diagnostic) 기능을 제공하여 애플리케이션을 최적화할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura E5500은 고객의 요구를 충족하는 다양한 시스템과 옵션을 제공합니다. 여러 개의 챔버, 공정 가스, 온도 조절, 향상된 진단 및 조정 제어, 사용자 정의된 인터페이스, 소프트웨어 등의 옵션을 사용할 수 있습니다. 요약하자면, Endura E5500은 고성능, 안정성 및 유연성을 제공하는 웨이퍼 처리 자산입니다. 즉, 고급 반도체 디바이스 구성 요구 사항을 충족하여 프로세스 효율성을 극대화하고 비용 효율성을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다.
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