판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9390615

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 재료 증착을위한 원자로입니다. CVD, PECVD 및 ALD와 같은 실리콘 기반 증착 시스템에 사용하도록 설계되었습니다. AMAT Endura CL은 핫 월 수직 다운 세라믹 라인 실린더 디자인을 통해 작동합니다. 이 설계는 웨이퍼 표면 전체에 걸쳐 뛰어난 균일성, 향상된 CIP (clean-in-place) 기능 및 장기적인 내구성 작동을 가능하게 합니다. 원자로는 히터, 소스 가스, 쇼어 헤드, HF/RF 바이어스, 필라멘트, 양극, 그리드 및 배플과 같은 여러 구성 요소로 구성됩니다. APPLIED MATERIALS Endura CL의 중심에있는 저항 가열 요소는 몰리브덴 (또는 텅스텐) 필라멘트로 구성됩니다. 이 요소는 최대 3.25kW의 DC 전력으로 구동되며 최대 925 ° C의 온도를 제공합니다. 히터는 epitaxial growth, film deposition, thermal annealing 등 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 소스 가스는 원자로 상단에 연결된 가스 매니 폴드를 통해 엔두라 CL (Endura CL) 로 공급됩니다. 가장 일반적으로 사용되는 두 가지 가스는 실란 (SiH4) 과 디 보란 (B2H6) 입니다. 이 과정에서 최대 4 개의 가스를 사용할 수 있습니다. 유량 및 챔버 압력은 최적의 증착 조건을 보장하기 위해 신중하게 모니터링됩니다. 원자로 상단의 샤워 헤드 (showerhead) 는 가스를 반응 챔버에 균등하게 분배하도록 설계되었습니다. HF/RF 바이어스, 필라멘트 및 양극이 결합하여 웨이퍼 표면을 에치 할 전기 전위를 제공합니다. 격자와 배플은 생성 된 플라즈마를 포함하는 데 사용됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL 원자로는 박막 퇴적에서 열 아닐링에 이르기까지 실리콘 웨이퍼를 제조하는 과정에서 널리 사용됩니다. 강력한 히터와 소스 가스의 조합으로 AMAT 엔두라 CL (Endura CL) 은 대용량 생산을 위해 안정적이고 효율적인 원자로 선택이 가능합니다. 다른 원자로에 비해 뛰어난 품질, 개선된 균일성, 높은 처리량으로 필름 (film) 을 증착 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura CL은 장기적인 효율적인 생산에 이상적인 선택입니다.