판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9378809

ID: 9378809
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
PVD System, 12" 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 최신 고급 IC 제조의 요구에 맞게 맞춤형 고급 멀티 챔버 생산 원자로입니다. 이 챔버 (Chamber) 는 오염의 위험을 줄이고 비용 효율적인 IC를 생산하도록 구성되어 있습니다. AMAT Endura CL 원자로는 혁신적인 모듈식 설계를 통해 평면 또는 3D 레이어에 쉽게 구성 할 수 있습니다. 저압 단일 웨이퍼 환경은 생성 된 각 IC의 최대 수율을 보장합니다. 대형 진공 베이킹 (vacuum baking) 장비와 강력한 산화실 (oxidation chamber) 이 장착되어 고급 IC 제조에 필요한 일관된 생산 라인을 달성 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura CL 원자로의 아키텍처는 제조 프로세스 전반에 걸쳐 프로세스 제어 및 정확성을 유지하도록 설계되었습니다. 각 챔버에서 정확한 온도 조절을 위해 지능형, 다중 영역 온도 제어 시스템 (multi-zone temperature control system) 이 장착되어 있습니다. 또한 처리량 향상, 응답 속도 향상, 전체 균일성 향상 등의 저질량 (low-mass) 고속 전송 장치를 갖추고 있습니다. Endura CL 원자로는 또한 환경을 보호하기 위해 고급 기술로 설계되었습니다. CDM (Chemical Delivery Module) 은 폐쇄 된 화학 전달 기계를 사용하여 화학 물질이 대기권으로 탈출하지 않도록 합니다. 또한, 이 원자로는 가장 엄격한 환경 표준 및 안전 규정을 충족합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL 원자로는 정교하고, 안정적이며, 비용 효율적인 고급 IC 구성 도구로서, 오늘날의 집적 회로의 최신 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 저압 작동, 저질량 전송, 지능형 온도 제어, 화학적 전달 모듈, 엄격한 환경 및 안전 규정 등 고급 기능과 결합된 모듈식 설계를 통해 수율 증대 및 비용 절감을 추구하는 IC 제작자에게 이상적인 선택이 됩니다 (영문).
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