판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9281790

ID: 9281790
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
PVD System, 12" 2004 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 고급 금속 화 및 유전체 등각 코팅을 제공하기 위해 설계된 매우 정교한 증착 도구입니다. 이 기계는 마이크로 일렉트로닉스, 자동차, 광학, 의료 기술 등 다양한 산업에서 사용되는 최첨단 장치의 비용 효율적인 개발을 위해 설계된 엔두라 (Endura) 증착 시스템 제품군의 일부입니다. AMAT 엔두라 CL (AMAT Endura CL) 은 고성능 박막 증착 기술의 최신 발전을 사용하여 기판의 패턴, 포장, 통합, 이미징 및 검사를위한 가장 효율적인 다중 계층 시스템을 매우 정밀하고 빠르게 만들 수 있습니다. 이 장비는 기판 및 표적 재료에서 높은 수준의 유연성을 제공하여 전기 도금, PVD (physical vapor deposition) 및 CVD (chemical vapor deposition) 와 같은 광범위한 프로세스가 포함 된 응용 분야에 적합합니다. 응용 재료 엔두라 CL (APPLIED MATERIALS Endura CL) 은 기판에 3 차원, 미크론 규모의 등각 코팅을 생성 할 수 있으며, 달성 할 수있는 어느 때보 다 더 훌륭한 피쳐 해상도를 위해 증착 층을 인터리브 할 수 있도록 프로그래밍 될 수 있습니다. Endura CL은 가장 까다로운 처리 환경에서 높은 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 플라즈마-보조 처리 챔버 (plasma-assistedprocessing chamber) 는 엔드포인트에 대한 시간 펄스 제어를 허용하는 닫힌 루프 시스템을 기반으로합니다. 이것은 정밀 기판 청소와 실온에서 10,000 ° C 이상의 온도의 신뢰할 수있는 작동을 만듭니다. 또한 챔버 (chamber) 는 입자수를 최소화하고 원치 않는 기판 오염으로 인한 임계 전압 이동을 줄이는 데 도움이됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL에는 최대 120 개의 웨이퍼가 장착 된 통합 기판 로더가 장착되어 있어 빠르고 정확한 기판 교환이 가능합니다. 작동 제어는 풀 마우스, 키보드 및 풋 페달 제어가 장착 된 25 "터치 스크린 컴퓨터 콘솔과 함께 제공됩니다. 이 머신은 또한 포괄적인 통합 프로세스 제어 보고 툴을 제공하여 자동화된 substrata 사전/사후 처리 (pre-processing) 검사를 통해 성능에 대한 즉각적인 피드백을 제공합니다. 추가 프로세스 기능을 위해 AMAT 엔두라 CL (Endura CL) 은 증착률 및 균일 성을 향상시키는 질소 버블 러 (nitrogen bubbler) 또는 나노 구조 및 나노 스케일 코팅을 쉽게 퇴적시키는 고 에너지 빔 증착 건과 같은 다양한 액세서리로 무장 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 엔두라 CL (APPLIED Endura CL) 에는 처리량을 극대화하고 실수를 줄이는 데 도움이 되는 다양한 자동화된 사용자 친화적 제어 옵션도 포함되어 있습니다. 또한, 고유한 Accelerator Technology Control Module 을 통해 프로세스 제어 정밀도를 높일 수 있습니다. 엔두라 CL (Endura CL) 은 오늘날 사용 가능한 가장 고급 증착 시스템 중 하나이며, 다양한 응용 분야에 대해 연장 된 시간 및 기판 균일성에 대한 정확한 코팅 안정성을 제공합니다. 고급 기능과 뛰어난 기능을 갖춘 AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 고급 박막 증착에서 뛰어난 성능을 찾는 사람들에게 적합합니다.
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