판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9276760

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 프로세스 엔지니어가 다양한 박막 응용 프로그램에서 CVD (tungsten chemical vapor deposition) 를 수행 할 수 있도록 설계된 원자로입니다. 이 차세대 원자로는 반도체 산업에 적합하며, 박막 반도체 소자의 증착을 위해 텅스텐 (tungsten) 과 다른 금속 층을 처리 할 수있다. AMAT Endura CL 원자로는 고급 수준에서 고정밀도, 일관된 황갈색 대 황갈색 균일성을 제공합니다. 이 원자로는 실행 중단 (end-of-run) 웨지 변형이 적은 안정적이고 반복 가능한 CVD 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Endura CL의 통합 제어 장비는 뛰어난 균일성 제어 및 완전한 웨이퍼 레벨 프로세스 제어를 제공합니다. 또한, 더 높은 필라멘트 용량과 온다이 (on-the-fly) 상하단 균일성 제어를 사용하여 더 빠른 공구 복구를 가능하게 합니다. 또한, Endura CL 원자로에는 고급 웨이퍼 로딩 및 다중 웨이퍼 언로딩 기능이 있어 프로세스 엔지니어가 처리량을 극대화하고 설치 공간을 최소화할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 자동 청소, 자동 처리 웨이퍼 교환 및 자동 파우더 충전과 같은 다양한 옵션을 갖춘 가장 고급 자동화 기술과 결합됩니다. AMAT Endura CL에는 중형 배기 스크러버, 작업 공간 증가 등과 같은 향상된 기능도 있습니다. 이 시스템은 또한 정확한 증착 및 프로세스 제어를 위해 고급 자동화를 사용합니다. 기능에는 정확하고 재현 가능한 성능을 보장하는 통합, 자동 온도 제어 장치; 정확하고 반복 가능한 가스 전달을위한 통합 가스 흐름 균형 제어 기계; 정밀 제어 및 균일성을 향상시키는 증착 제어 도구. 또한 APPLIED MATERIALS Endura CL 자산은 고급 안전 기능을 통해 생산성과 신뢰성을 향상시킵니다. 원자로에는 비상 셧다운 스위치 (emergency shutdown switch) 가 장착되어 있는데, 이 스위치는 운영자가 필요할 때 즉시 모델을 종료합니다. 이 장비에는 가스밸브 (gas valve) 조정이 수작업으로 이루어지지 않도록 자동 가스 차단 (gas shutdown) 기능도 있습니다. 엔두라 CL 원자로 (Endura CL reactor) 는 고정밀도, 일관된 텅스텐 CVD 프로세스가 필요하고 처리량 및 비용 효율성 향상을 추구하는 반도체 제조업체에 이상적인 선택입니다. 원자로 (Reactor) 에는 다운타임이 최소화되면서 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공하도록 설계된 다양한 기능이 포함되어 있으며, 높은 균일성 (unifority) 으로 웨이퍼를 계속 처리합니다.