판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9237067

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL
ID: 9237067
웨이퍼 크기: 12
빈티지: 2003
PVD system, 12" 2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 생산에 사용하도록 설계된 고성능 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 박막 증착 및 가공, 반도체 제작 및 관련 산업에 사용되며, 고급 제조 공정 (advanced manufacturing process) 의 핵심 부분입니다. AMAT Endura CL에는 동봉 된 공정 챔버, 이중 경로 처리 기능, 냉각 최적화, 대피 장비 내장 등, 정확성과 효율성을 극대화하는 많은 기능이 있습니다. 동봉 된 공정 챔버 (process chamber) 는 균일 한 온도 분배 및 우수한 온도 안정성을 촉진하는 독특한 디자인으로 단단히 통제 된 환경을 허용합니다. 이중 경로 처리를 통해 고급 다중 계층 및 다중 재료 증착이 가능합니다. 냉각시스템 (Cooling System) 을 최적화하여 에너지 및 처리 시간을 절약할 수 있으며, 대피 장치 (Expacuation Unit) 를 내장하여 기체를 챔버에서 빠르고 효율적으로 제거 할 수 있습니다. 이것은 가스의 순도를 유지하여 일관된 증착을 허용합니다. APPLIED MATERIALS Endura CL에는 고급 프로세스 모니터링 및 제어 기능도 있습니다. 온도, 액체, 기체 흐름, 압력이 모두 모니터링되어 공정의 실시간으로 볼 수 있습니다. 이렇게 하면 시스템 성능을 파악할 수 있으므로 정밀도 (consistency) 와 정밀도 (precision) 를 높일 수 있습니다. Endura CL은 섭씨 +/-1도의 전반적인 프로세스 안정성을 가지고 있으며, 금속, 전기 화학, 원자층, 물리적 증기 증착 등 다양한 증착 과정을 지원합니다. 또한 금속, 산화물, 유전체 등 다양한 물질을 생성 할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 효율성 극대화, 처리량 향상, 일관성 있는 고품질 결과를 제공하도록 설계된 정교한 CVD 솔루션입니다. 고급 프로세스 모니터링, 이중 경로 처리 기능, 최적의 냉각 기능을 갖춘 이 제품은 정밀 IC, MEMS, 박막 처리에 이상적인 툴입니다.
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