판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9236845

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 반도체 산업에서 박막 구조를 처리 및 제조하는 데 사용되는 화학 원자로 유형입니다. 필름을 만들기 위해 물질의 화학 증기 증착 (CVD), 원자층 증착 (ALD) 및 혈장 증착 (PED) 에 사용됩니다. 원자로는 높은 균일성과 반복성을 위해 설계되었습니다. AMAT Endura CL은 프로그래밍 가능한 셔터 어레이를 갖춘 적합한 쇼 헤드 소스 디자인을 갖추고 있습니다. 이것은 넓은 영역 기판에서 필름을 균일하고 반복 할 수있는 증착을 허용합니다. 소스 디자인은 부산물 형성을 최소화하고 높은 수율을 보장하도록 최적화되었습니다. 또한 챔버 (Chamber) 는 빠른 열 램프 업 및 냉각 시간을 가능하게하여 증착 과정을 빠르고 효율적으로 완료 할 수 있도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Endura CL 원자로는 강력한 공정 제어 장비를 사용하여 프로세스 매개변수를 자동으로 제어합니다. 이렇게 하면 증착 과정 중 의 온도, 압력, "가스 '유량 을 정확 히 조절 할 수 있다. 이 시스템은 또한 프로세스에서 최대 3 개의 전구체 가스와 2 개의 반응 가스를 사용하는 유연성을 지원합니다. 이것 은 "필름 '의 화학 이 특정 한 적용 요건 에 맞게 조정 될 수 있게 해준다. Endura CL은 또한 반복 가능한 플라즈마 에칭 프로세스를 위해 설계된 in-situ 플라즈마 생성기를 갖추고 있습니다. 이를 통해 에칭 (etching) 프로세스를 정확하게 제어할 수 있으며, 증착 과정에서 언더컷의 양을 줄이는 데 도움이 될 수 있습니다. 이 장치는 또한 금속, 산화물, 질화물 및 기타 반도체를 포함한 다른 물질의 에칭을 지원합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 쉽게 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. 기계의 챔버 (chamber) 에는 소스와 바닥 판 컴포넌트를 쉽게 제거 할 수있는 디자인이 있습니다. 이 기능을 통해 도구의 내부 구성 요소에 신속하게 액세스할 수 있으며, 신속하고 효율적인 유지 보수 (maintenance) 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 고급 진단 모델 (Advanced Diagnostic Model) 을 통해 장애를 신속하게 진단하고 예상치 못한 다운타임을 방지할 수 있습니다. 결론적으로, AMAT Endura CL은 반도체 응용을 위해 박막을 퇴적시키기 위해 설계된 화학 원자로입니다. 이 장비는 자동화된 프로세스 제어 (Process Control) 와 빠른 경사 속도 (Rast Ram) 및 냉각 시간 (Cool Down Time) 을 통해 높은 균일성과 반복 가능성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 또한 플라즈마 에칭 기능 (plasma etching capability) 과 강력한 진단 장치 (diagnostic unit) 를 갖추고 있어 안정적인 작동을 보장합니다.