판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9200110

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 반도체 장치 제조에 일반적으로 사용되는 고급 실리콘 기반 물리 증기 증착 (PVD) 원자로입니다. 대용량 생산에서 고급 증착 처리 기술을 가능하게하도록 설계되었습니다. AMAT Endura CL PVD 원자로는 모듈식 플랫폼 설계로, 광범위한 프로세스 통합을 위해 구성할 수 있는 뛰어난 유연성을 제공합니다. 전면 로딩, 챔버 기반 아키텍처는 다양한 도구 구성 요소를 쉽게 수용할 수 있습니다. 즉, 사용자가 편리한 액세스 및 유지 보수 작업을 수행할 수 있는 한편, 개별 사용자 지정 (customization) 기능을 통해 단일 플랫폼에서 고급 프로세스 통합을 수행할 수 있습니다. 원자로 (reactor) 는 고급 기술을 사용하여 다양한 기판에서 최고 품질의 증착을 가능하게합니다. 원자로 (reactor) 는 반응성이 높은 유기체 (organosilane) 를 포함한 다양한 공정 기체를 사용하여 필름 구조와 균일성을 완벽하게 제어 할 수있는 초박막 (ultra-thin film) 을 사용합니다. 더 높은 온도에서, 더 높은 증착률과 심지어 더 밀도가 높은 필름을 얻을 수 있습니다. 또한, 원자로는 빠른 기판 가열 및 냉각이 가능하며, 이는 생산에 빠른 처리 시간을 허용합니다. APPLIED MATERIALS Endura CL 원자로에는 여러 가지 고급 재료 처리 및 폐기물 관리 기능이 있습니다. 재료 가 원자로 상단 부근 에 적재 된 다음, 일련의 "로봇 '무기 에 의하여" 시스템' 을 통해 이동 된다. 폐기물 관리는 오염 없는 작동 및 더 높은 수율을 허용하는 폐쇄 루프 (closed-loop) 재료 재활용 시스템에 의해 관리됩니다. 원자로 설계는 또한 온도, 압력, 가스 흐름 및 압력 격리에 대한 정확한 제어를 통해 뛰어난 공정 제어를 허용합니다. 이러한 매개변수에 대한 고급 제어 (Advanced Control) 를 통해 사용자는 다양한 기판에 걸쳐 엄격한 품질 요구 사항과 더 큰 균일성을 얻을 수 있습니다. 전반적으로 Endura CL은 실리콘 기반 대용량 생산을 위해 설계된 고급 PVD 원자로입니다. 광범위한 프로세스 통합을 위한 탁월한 유연성, 빠른 처리 시간 (turnaround time) 과 높은 수율로 고급 증설 (deposition) 기술을 제공합니다. 정밀한 프로세스 제어 매개변수 (process control parameter) 와 고급 재료 처리 및 폐기물 관리 (waste management) 를 통해 다양한 기판에 걸쳐 탁월한 필름 균일성을 얻을 수 있습니다.