판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #9191120

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 차세대 반도체 장치 제조를 가능하게하도록 설계된 고급 PECVD 원자로입니다. AMAT Endura CL에는 구성 가능한 프로세스 챔버 (process chamber) 아키텍처가 장착되어 있으므로 다양한 프로세스 레시피에 쉽게 적응할 수 있습니다. 기존 기판, 광학 필름, 코팅 및 금속과의 호환성이 우수합니다. APPLIED MATERIALS 엔두라 CL (APPLIED Endura CL) 은 혁신적인 차폐 듀얼 퍼니스 (Dual-Furnace) 설계로 고급 온도 제어를 가능하게하여 프로세스 챔버의 온도를 광범위한 작동 온도에서 정밀 수준으로 유지할 수 있습니다. 그 결과, 원자로 (reactor) 를 사용하여 두께와 균일성이 단단히 제어 된 포토 esist, poly-silicon 및 기타 재료의 균일 한 층을 만들 수 있습니다. 또한, 엔두라 CL (Endura CL) 은 새로운 멀티 빔 쇼어 헤드 장비를 갖추고 있으며, 가공 가스를 균등하게 분산시켜 챔버 압력 파문을 크게 줄여 전체 에치 속도와 균일 성을 높입니다. 이 시스템은 또한 입자 빌드를 최소화하여 총 유지 관리 시간을 줄입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 고급 PECVD 원자로로, 가장 중요한 디바이스 구성 애플리케이션에 탁월한 성능을 제공합니다. 공차 범위 (tight tolerance range) 로 매우 정확한 필름 두께를 측정하고 정밀 코팅을 처리 할 수있는 정교한 광학 장치가 특징입니다. AMAT Endura CL은 또한 광범위한 모니터링 기능을 제공하여 사용자는 프로세스 매개변수 및 챔버 (chamber) 조건을 모니터링할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura CL은 최고 품질의 반도체 장치 제작 프로세스를 가능하게하는 고급 PECVD 기계입니다. 독보적인 듀얼퍼니스 (Dual-Furnace) 디자인과 견고한 쇼어 헤드 (Showerhead) 툴은 탁월한 다용도와 높은 수준의 프로세스 제어를 제공합니다. 정교한 광학 자산은 정확한 필름 두께 측정과 균일성을 용이하게합니다. 또한, 사용자 친화적인 인터페이스 및 모니터링 기능을 통해 가장 까다로운 디바이스 구성 (FMA) 애플리케이션을 손쉽게 선택할 수 있습니다.