판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293807107
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 박막 증착에 사용되는 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 증착 과정이 진행되는 실린더 모양의 플라즈마 확장 영역을 사용합니다. 원자로에는 정밀한 레이어 제어 (layer control) 와 더 나은 증착 균일성 (deposition unifority) 이 가능한 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 2 개의 임베디드 소스, 쿼츠로드 및 임베디드 워터 냉각이있는 난방 시스템이 특징입니다. 이것 은 정확 한 온도 범위 를 유지 하는 데 도움 이 되며, 증착 과정 을 더 잘 제어 할 수 있게 해 준다. 유연성은 온도, 압력, 가스 흐름 등 다양한 필름에 대한 다양한 프로세스 조건을 촉진합니다. AMAT Endura CL은 또한 넓은 동적 범위를 가진 고품질 영화를 제작할 수 있습니다. 반응 챔버에는 반응로의 양쪽에 배치 된 석영 돔과 2 개의 전극이 있습니다. 전극은 플라즈마 장 (plasma field) 을 생성하는 데 사용되며, 이는 전구체 가스 분자를 분해하고 균일 한 증착을 형성하는 데 도움이됩니다. APPLIED MATERIALS 엔두라 CL (APPLIED Endura CL) 에는 공정 가스 분배를 제어함으로써 필름의 균일성을 향상시키는 데 도움이되는 가스 배급기 및 양극이 장착되어 있습니다. 또한, 공정 제어 장치 (PCU) 는 정확한 압력 수준, 가스 흐름 속도, 전원 설정 등 증착 프로세스를 정확하게 제어합니다. 엔두라 CL (Endura CL) 은 안정적이고 효율적인 방식으로 반복 가능하고, 통제되고 안정적인 증착 프로세스를 달성하도록 설계되었습니다. 이는 반도체 에칭, 광학 코팅, 마이크로 머시닝 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL의 다목적 증착은 미세한 필름의 정확한 증착에 이상적인 선택입니다. AMAT Endura CL은 AMAT 생산 라인에 완벽하게 통합되어 뛰어난 유연성과 최대한의 가치를 제공합니다.
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