판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293757041

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 고급 고성능 증착 장비 인 혈장 증착 화학 증착 (PECVD) 원자로입니다. 이 시스템은 반도체 및 기타 산업에서 사용되는 박막 (thin film) 을 생산하도록 설계되었습니다. 기질 기반 증기 증착 기술로, 일반적으로 다양한 응용을위한 산화물, 질화물, 폴리 실리콘, 금속 및 기타 반도체 재료를 증착시키는 데 사용됩니다. AMAT Endura CL은 이중 종 마그네트론을 갖춘 열 증발기를 사용하며, 원자층 증착 (ALD) 및 기타 정밀 증착 응용을 가능하게하기 위해 저압 정전압 결합 플라즈마 (CPL) 소스를 장착합니다. 이 장치는 또한 낮은 기질 온도를 유지하면서 증착 속도를 증가시키기 위해 100 ° C 및 300 ° C 온도 범위의 증착을위한 아 대기 체 콜드 월 챔버 (subatmospheric cold-wall chamber) 를 특징으로합니다. APPLIED MATERIALS Endura CL은 2 단계 프로세스를 통해 이종 구조, 맞춤형 두께 형상 및 내부 응력 그라디언트와 같은 다양한 복잡한 구조를 만들 수 있습니다. 이 기능을 통해 고객은 CPL 과 ALD 를 하나의 원자로에 페어링하여 최적의 성능을 제공합니다. 이 기계는 또한 자동화된 제어 도구 (Control Tool) 를 제공하여 높은 증착 반복성을 달성하면서 레시피를 단순화하고 최적화 프로세스를 완화합니다. 이 자산은 정교한 통합형 소프트웨어 (Software) 와 하드웨어 (Hardware) 기능을 통해 사용 편의성과 개선을 촉진할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 온보드 진단 모델은 예방적 유지 관리를 처리하여 다운타임을 줄이고 불필요한 서비스 요청을 방지합니다. 엔두라 CL (Endura CL) 은 반도체 업계에서 고객의 생산 요구에 따라 생산성, 장비 신뢰성, 프로세스 유연성을 높이도록 설계되었습니다. 두 예금 (deposition) 기술의 통합을 통해 고객은 두 가지 별개의 증착 (deposition) 기술의 매개변수를 결합, 최적화, 제어함으로써 제품 출시 시간을 단축할 수 있습니다. 또한 고객은 AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL로 인해 높은 처리량과 낮은 소유 비용으로 혜택을 누릴 수 있습니다.