판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293752937
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ID: 293752937
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
System, 12"
Chamber E/F: STD Degas
Chamber D: PC-XT
Chamber 1: IMP
Chamber 2/3: TxZ
(2) Scanners
Generator rack
Distribution rack
AC Rack
Monitor missing
Front monitor
Flex controller: VME Type
(2) PODs
Light curtain: FABS Type(JAPAN)
Signal tower: 3 Colors
Aligner type: Single axis stand alone
Passthrough: Dummy 12-Slot
Missing parts:
KENSINGTON Robot
Robot controller 1/2
FI HDD/FDD
CD ROM
FI CPU Board
(2) Degas Chambers (E/F)
Chamber type: STD Heater Type
Cryo pump missing
Chambers A&B:
Chamber A: Passthrough
Chamber B: Cooldown
Lid type: Clear Lid
Buffer and transfer:
Robot type: VHP Robot
(12) Slit V/V Assemblies
(12) Slit V/V Doors
Missing parts:
Cryo Pump
SBC452 Board
P-III CPU Board
Buffer Interlock Board
FE HDD
RT HDD
FE/RT FDD
VHP Robot cover
Chamber 1:
Process type: Vectra IMP
IMP Adaptor
Weldment type: STD
Controller tower type: CL STD Type
Lid hoist type: Gas spring type
Heater type: B101
Gate V/V type: 3 Position
Shitter option: CL STD Type
Missing parts:
Coil match
Bias match
Cryo pump
Coil matching box: 2 MHz
Bias matching box
Shutter driver
Wafer lift driver
Bias pedestal RF power cable
Ion/Convectron gauge controller
Pedestal driver
Chamber 2:
Process Type: TxZ
Gas box type: TFTE DLI Type
Gas delivery & exhaust: TFTE Type
TurboVac 361C Pump
Heater type: TxZ STD
Turbo isolation valve: Angle valve
Baratron gauge: 2T/1000Torr
MFC: (5) STEC
Missing parts:
Throttle valve
MFC and valve for purge module
Chamber feedthrough
DI/O Board
TDMAT Bottle
Purge module bracket
Lid CVGGF
Chamber 3:
Process Type: TxZ
Gas box type: TFTE DLI Type
Gas delivery & exhaust: TFTE Type
TurboVac 361C Pump
Purge module: BOT/EDGE/BS
Baratron gauge 2T/1000Torr
MFC: (5) STEC
Missing parts:
Throttle valve
MFC and valve for purge module
Chamber feedthrough
TxZ Heater & Lift pin
Purge module bracket
Chamber D:
Process Type: PC-XT
Resonator type: Fan resonator
Controller tower type: CL STD Type
TurboVac 1000C Pump
Gate V/V Type: 2Pos
Bias match option: 13.56 MHz
MFC: (2) STEC
Missing parts:
Analog board
Bias matching box
Pedestal RF Power
Pedestal lift assembly
Lift/Pedestal driver
RGA Manual valve
PC-XT Pedestal
DI Max Cooler: DI Max
Chiller: Steelhead 1
Compressor missing
Racks:
Distribution rack
(2) Generator racks
AC Rack
Accessories:
TDMAT auto re-fill gas cabinet
Abatement device 1/2
UPS
Umbilical cable
Pump frame
System earthquake prevention belt brackets
INFICON RGA Accessories
AC Rack DI/O board missing
IMP CDX-1250 Bias generator missing
Power supply:
Chamber 1:
Dual Pinnacle 10 kW+6 kW
HFV-8000 5 kW
Chamber 2, 3:
COMDEL CLX-2500
Chamber D:
ENI GMW-25A 2 MHz
ENI GHW-12A 123.56 MHz
Missing pumps:
SWLL
Degas
RPC
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 확산 시스템 고성능 웨이퍼 처리 원자로입니다. 이 특수 장비 는 "반도체 '" 웨이퍼' 의 표면 으로부터 얇은 재료 층 을 퇴적, 에치, 제거 하는 데 사용 된다. CMP (chemical-mechanical polishing) 기능은 나노 스케일 (nanoscale) 수준에서도 피쳐와 표면의 균일 한 평면 화를 허용합니다. AMAT Endura CL 원자로에는 Chroma 1400 웨이퍼 피더 및 SpeedTec EBR-2000 전원 공급 장치가 기본으로 제공되며, 둘 다 균일 한 증착과 패턴을 보장합니다. 원자로는 또한 120kV E-gun, 자동 가스 취급 및 분사 장비, 실시간 온도 측정 및 관리 시스템을 갖추고 있으며, 웨이퍼 처리 시 정밀성과 반복 성을 제공합니다. 또한, 이 장치에는 내결함성 (fault-tolerance) 프로그램이 내장되어 있어 실시간으로 처리 오류를 예상하고 수정할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura CL 원자로는 금속화 애플리케이션을 위해 특별히 설계되었으며, 고성능 증착 기능은 시간당 최대 50 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 원자로는 우주 방사선, 유도 전류 및 입자 오염을 제거하는 UHV (Ultra-High Vacuum) 챔버가있는 3 중 진공 환경을 특징으로합니다. 이러 한 조밀 한 진공 환경 은 반응 조건 을 더 잘 제어 할 수 있게 해 주며, 그 결과 정밀 하게 조작 된, 일관성 있는 "필름 '모양 과 균일성 이 생긴다. 엔두라 CL (Endura CL) 원자로의 컴팩트 한 설계로 클린 룸 환경에 쉽게 맞출 수 있습니다. 저유지 촉매 증발 (CVD) 공정은 유전체 및 금속화 필름의 균일 한 증착을 빠르고 반복 가능한 방식으로 가능하게한다. 원자로는 또한 다양한 프로세스 별 구성 (process-specific configuration) 을 갖추고 있으므로 다양한 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 사용할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 엔두라 CL (Endura CL) 원자로는 AMAT의 모범적인 고객 서비스 및 유지 보수 프로그램 (Customer Service and Maintenance Program) 에 의해 지원됩니다. 이 고성능 반도체 장비 (HPD) 는 웨이퍼 (Wafer) 표면에서 얇은 층의 재료를 배치, 에치 (etch) 및 스트립하려는 사람들에게 필수적인 도구입니다. 고급 피쳐를 사용하면 나노 스케일 레벨 (nanoscale level) 에서도 피쳐와 서피스의 균일 한 평면 형상이 가능합니다.
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