판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL #293752793

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura CL
원자로
제조사
AMAT / APPLIED MATERIALS
모델
Endura CL
ID: 293752793
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2002
PVD Metal system, 12" AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-08815 622000096-1 Endura CVCF AMAT / APPLIED MATERIALS 0015-04420 DI Chiller EFEM: (3) AMAT / APPLIED MATERIALS 85-3000-0307-01 Load ports YASKAWA XU-RCM6801 G28001-1-14 Handler robot YASKAWA XU-CN1112A S2M988-5-02 Robot controller YASKAWA XU-ACL4203 S13537-3-01 Ball screw TERA TVC-1R-01 AB11110361 Remote controller AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-05111 Control video switch (3) MAXON 143849 DC Servo motors (3) KG AUTO KGP-JD2G LED Lamps MOELLER PKZM0-25 Thermal magnetic circuit breaker TM: AMAT / APPLIED MATERIALS DDM-005X-DN-AM3 9101-1999 Electrocraft servo drive AMAT / APPLIED MATERIALS 404419R Enhanced HT Wrist AMAT / APPLIED MATERIALS 404557R 0010-31156 Enhanced HT Wrist AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-50505-002 13118101-203 Slit valve housing AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-22609 119503 Slit valve AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-1041-01R KSM-060206 Slit valve GRANVILLE 354001 1559 Gauge controller CTI 8113212G001 F0908552 On-board P300 Module CTI 8113212G001 H1009443 On-board P300 Module MDC AV-153-P 01-53564 Pneumatic angle valve PANASONIC FX-300 Series Digital fiber optic sensor NSK M-JSG014DN504 GJ6Y062 Mega torque motor AMAT / APPLIED MATERIALS XBR-2310 AC Servo motor Chamber 1: CTI PG03.00 L05407998 On-board P300 Cryopump CTI 8113212G001 B0908336 On-board P300 Module AMAT / APPLIED MATERIALS CDS-099 400822-PJ-LCMD Lower chamber module AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09628 1096800 SPELLMAN X2784 41254-1-A01063 Power supply AMAT / APPLIED MATERIALS 18902-13 400822-PJ-CCMD Controller Chamber 2: CTI 8116250G001 F03151808 On-board P300 Cryopump CTI 8113212G001 E0807402 On-board P300 Module 8127303G001 Drive unit assembly P300 MDC AV-150M-P03 02-55365 Pneumatic angle valve MKS Baratron 627A1TBD 821109 Pressure transducer AMAT / APPLIED MATERIALS 0021-21164 11362101 Bracket, sensor, shutter Chamber 3: AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-14529 3420304 PVD Source chamber top AMAT / APPLIED MATERIALS MII-403-0606 404557-PJ-LCM1 300mm RPC Assembly MKS Baratron 627A 1TBD 001057274 Pressure transducer SMC 1082300 B11262002-29832 Valve supplier R.T.LAIRD INC 188123 1-800-231-7983 SVF 0010-13532 300637-3103-31030004 Flow control AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-00412 S03-36-19 Motor stepper assy AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-06374 11362101 Motor stepper assy MKS UHV-25-AKC-ENVN 0325476992 Angle valve CORCOM F7299 EMI filter Degas chamber (Chamber E): CTI 8116273G001 1010CHE10707 On-board P300 Cryopump CTI 8113212G001 C0908419 On-board P300 Module AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-21740 Assy TC amp 7018012 TC Gauge Degas chamber (CH-F): CTI 8116273G001 I05376835 On-board P300 Cryopump CTI 8113212G001 C0908416 On-board P300 Module AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-21740 Assy TC amp SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS NCDQ2WB63-UIA97 0110 Pneumatic cylinder SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS NCDQ2B80-UIA990939 3020-01052 Pneumatic cylinder SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS 944AOPLPNCSFSFF 42600719 Pneumatic cylinder SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS NCDQ2WB63-UIA97 939 Pneumatic cylinder SMC&AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-76520 300351-333-0023 Pneumatic cylinder lift assembly CTI 8112030G002 Roughing valve Diaphragm valve 8127082-G001 Purge valve Generator rack: ENI 0190-19810 DCG-400Z-0J Master DC Power supply ENI 0190-07969 DCG-200Z-S0J Slave DC Power supply ENI 0190-09832 GHW12Z-13DF2N0-001 RF Generator CVCF: Eaton MDL3800F 4203B99G03 Circuit breaker AMAT / APPLIED MATERIALS 400822-PJ-PROJ 0190-06075 Load center 2002 vintage.
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AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL은 다양한 화합물 반도체 (CS) 필름 및 장치 계층에 뛰어난 성능을 제공하도록 설계된 최첨단 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 원자로입니다. AMAT Endura CL 장비는 가장 고급 MOCVD 원자로이며, 사용 가능한 최고 품질의 복합 반도체 필름 증착을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Endura CL 시스템은 전체 웨이퍼 표면에 대해 정밀 레이어 별 두께 제어 및 증착 품질 균일성 (unifority of deposition quality) 을 통해 가장 균일한 필름 두께를 제공하도록 설계되었습니다. 원자로는 터보 믹싱 (turbo-mixing), 낮은 흐름 속도 (low flow rate), 저압 전구체 전달 (low pressure precursor delivery) 등 정교한 흐름 특성화로 전구체 물질의 흐름을 잘 제어 할 수 있도록 잘 설계되었습니다. 원자로 (Reactor) 는 또한 고출력 생산을 위한 고출력 (HPP) 기능과 프로세스 조건을 빠르게 조정하여 원하는 재료 특성을 달성하는 기능을 갖추고 있습니다. 엔두라 CL 원자로 (Endura CL reactor) 는 모든 웨이퍼에 균일 한 전구체 분포 및 모든 반응 부산물의 제거를 촉진하는 증착 중 수직 탈출 경로를 보장하는 수직 증착 챔버 설계를 사용합니다. 이 고급 설계는 최고의 로컬 품질을 유지하면서 재료를 효율적으로 증착 할 수 있습니다. 원자로 (reactor) 는 또한 균일 한 웨이퍼 온도를 촉진하고 온도 변화로 인한 재료 저항성 증가를 감소시키는 가열 된 서셉터 (susceptor) 를 특징으로합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL 원자로는 또한 균일 한 증착율, 온도 조절 및 공정 제어 기능의 조합을 특징으로합니다. AMAT Endura CL (AMAT Endura CL) 에는 프로세스 매개변수 및 최적화를 프로그래밍하는 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공하는 수치 제어 작동 장치가 있습니다. 고급 전기 화학 센서 머신 (Advanced Electrochemical Sensor Machine) 은 프로세스 조건을 지속적으로 모니터링하여 최고 품질의 결과를 보장하는 데 사용됩니다. 또한 APPLIED MATERIALS Endura CL 원자로는 전압 전원 공급 장치를 사용하여 전력 소비를 줄이고 비용을 절감합니다. 전반적으로, 엔두라 CL (Endura CL) 은 복합 반도체 필름 및 장치 계층에 가장 높은 품질의 필름 증착을 제공하도록 설계된 고급 MOCVD 원자로입니다. 고급 설계, 정밀 계층 별 두께 제어, 고출력 등을 갖춘 AMAT/APPLIED MATERIALS Endura CL 원자로는 증착 응용 프로그램에서 뛰어난 균일 한 필름 특성과 프로세스 제어를 원하는 사람들에게 완벽한 도구입니다.
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