판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9373104

AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500
ID: 9373104
웨이퍼 크기: 2"-6"
빈티지: 2006
Sputtering system, 2"-6" 2006 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 고급 박막 처리에 사용되는 고성능, 저비용, 고급 인라인 물리적 증기 (PVD) 원자로입니다. 주로 구리, 알루미늄, 티타늄, 텅스텐 (tungsten) 과 같은 금속 층을 퇴적시키는 데 사용되며, 다른 다양한 비금속 필름을 퇴적시키는 데 사용될 수도 있습니다. AKT Endura 5500은 반도체, 디스플레이, 태양 광 및 LED 생산과 같은 다양한 어플리케이션에 적합한 다양한 기능을 제공합니다. 박막 증착 (Thin-film deposition) 을 위해 안정성이 뛰어나고 완전 자동화된 인라인 (in-line) 장비로, 프로세스 영역 전체에서 온도와 압력 제어가 균일하여 프로세스 균일성이 향상되었습니다. 이렇게 하면 전체 배치에서 균일하고 일관된 필름 두께가 유지됩니다. AMAT ENDURA 5500 (AMAT ENDURA 5500) 의 고급 프로세스 제어 기능 덕분에 수동 프로세스를 자동화하여 고품질의 고급 필름을 제작하는 데 필요한 시간과 노력을 줄일 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500은 또한 낮은 소유 비용을 제공하며 Wafer-to-Wafer 주기 시간을 최적화하여 최대의 처리량을 제공합니다. 고정 된 핫 월 디자인으로 ENDURA 5500은 최대 균일 성, 안정성 및 수명을 달성합니다. 자켓 시스템 (jacketed system) 은 증기 및 기타 오염 물질이 증착 중 프로세스 영역에 들어갈 위험을 최소화합니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500은 또한 온보드 소스 (on-board source) 및 실드 모니터 (shield monitor) 를 제공하여 소스 및 실드 압력을 지속적으로 모니터링하여 프로세스 반복성과 균일성을 보장합니다. 또한, 내장 고속 디지털 이온 빔 건 (ion beam gun) 은 재료의 빠르고 정확한 증착을 가능하게하여 극심한 박막 증착을 달성합니다. 또한 Endura 5500에는 장치 작동 중 제어, 진단, 데이터 분석을 간소화할 수 있는 통합 프로세스 컨트롤러 (process controller) 및 프로세스 모니터가 있습니다. AKT ENDURA 5500에는 자동 소스 교환 머신 (Automated Source Exchange Machine) 이 장착되어 있어 필요할 때 소스를 신속하게 교체할 수 있으며, 유지 보수 및 수리 작업을 간편하게 수행할 수 있도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 기판에 광범위한 박막 계층을 제공하기 위해 특별히 설계된 고성능, 비용 효율적인, 단순하고 안정적인 PVD 출력 원자로 장치입니다. 탁월한 성능과 낮은 소유 비용을 제공합니다.
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