판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9352786

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 원자로는 대용량 생산 응용 프로그램에서 빠르고 균일하며 반복 가능한 프로세스를 위해 설계된 멀티 챔버 증착 및 에치 장비입니다. 이 시스템은 기존 및 향후 자료와의 호환성과 유연성을 위해 설계된 독점적인 모듈식 프로세스 챔버 (modular process chamber) 를 갖추고 있습니다. 또한 균일성 및 프로세스 제어가 향상된 다양한 에치 (etch) 및 증착 솔루션을 제공합니다. AKT Endura 5500 원자로는 독특하게 설계된 이중 챔버 드라이 에치 장치이며, 첫 번째 챔버는 강착 유사 및 저에너지 반응성 이온 에치 (RIE) 처리를, 두 번째 챔버는 더 높은 에치 속도의 에치 및 강착을 제공합니다. 이 기계는 polysilicon, SiNx, a-Si: H, AlN 및 AlGaAs를 포함한 다양한 재료와 호환됩니다. LED 디스플레이, MEMS, 나노 텍, 미세 유체 및 반도체와 같은 다양한 응용 분야에 적합합니다. AMAT ENDURA 5500 원자로는 빠른 램프 업 및 우수한 온도 균일성과 같은 몇 가지 유리한 기능을 제공합니다. 멀티 챔버 아키텍처 (multi-chamber architecture) 와 하이 스테이트 프로세스 제어 메커니즘으로 인해 프로세스 정확성과 반복성이 향상되었습니다. 또한 이 툴은 정교한 툴셋을 사용하여 실시간으로 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 조건에 대한 직접적인 피드백을 제공하는 고급 모니터링 기능을 제공합니다. Adaptive Process Control 및 Process Variance Control 기술을 통해 프로세스 제어 및 웨이퍼 균일성을 크게 향상시킵니다. 또한, AMAT Endura 5500은 최소적이고 가역적 인 물질 손실을 특징으로하며, 에치 균일성을 최대화하는 공정 챔버의 에치 레시피를 최적화 할 수있다. 엔두라 5500 (Endura 5500) 원자로는 탁월한 에치 및 증착 성능, 향상된 균일성, 프로세스 매개 변수에 대한 더 많은 제어를 제공하도록 설계된 비용 효율적이고 사용자에게 친숙한 자산입니다. 고급 모니터링 및 제어 기능, 다양한 자료와의 호환성, 대용량 (high-volume) 기능을 갖춘 APPLIED MATERIALS Endura 5500은 다양한 애플리케이션과 업계를 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다.