판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9283205

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 반도체 제조를 위해 설계된 다목적 원자로입니다. 이 장비는 실리콘, 알루미늄, 구리, 질화물, 사파이어 등 다양한 기판을 처리하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 저온 빠른 열 처리, 빠른 열 결정화 및 최대 400 ° C/sec의 온도 증가/감소 속도를 달성 할 수 있습니다. AKT Endura 5500에는 일괄 처리 또는 연속 기판 처리가 가능한 혁신적인 듀얼 챔버 디자인이 있습니다. 공정 챔버 인 로우 챔버 (lower chamber) 는 최대 1200 ° C의 온도를 가질 수 있습니다. 상공 챔버 (upper chamber) 는 석영 튜브 형성 챔버 역할을하며 최대 6 인치까지 다양한 기질을 수용 할 수 있습니다. 이 장치에는 10 개의 독립 가스 라인 (gas line) 을 갖춘 고급 가스 제어 장치 (gas control machine) 가 있으며, 이를 통해 사용자는 정밀도로 가스 유량을 설정할 수 있습니다. AMAT ENDURA 5500의 최대 로딩 용량은 최대 8 개의 4 인치 웨이퍼 또는 최대 2 개의 8 인치 웨이퍼입니다. 이 도구에는 Theta 및 E-beam과 같은 다양한 가열 옵션과 DC 및 RF 전원이 있습니다. 자산에는 통합 냉각 모델 (integrated cooling model) 이 있어 기판의 안전한 작동과 균일 한 냉각이 보장됩니다. AMAT Endura 5500 장비에는 안전 경보 (Safety Alarm) 및 기계식 웨이퍼 브레이크 판별기와 같은 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 안전에 대한 SEMI 표준을 준수하며, Clean Room 환경에서 작동하도록 구성할 수 있습니다. 이 장치에는 문서 (Documentation) 와 소프트웨어 (Software) 를 완벽하게 보완하여 시스템 및 모니터 (Monitor) 프로세스 매개변수를 구성할 수 있습니다. 결론적으로, ENDURA 5500은 다양한 기판 처리 기능을 제공하는 다양하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 통합 안전 (Integrated Safety) 기능, 고급 가스 제어 (Advanced Gas Control) 및 정밀 난방 옵션을 통해 다양한 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 모델은 클린 룸에 사용하기에 적합하며 SEMI 표준을 준수합니다.