판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9266439

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AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500
판매
ID: 9266439
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Sputtering system, 8" (4) Chambers 2001 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reactor는 반도체 기판에 나노 스케일 구조 및 패턴 형성을 위해 설계된 고급, 생산 가치있는 전자 빔 리소그래피 플랫폼입니다. AKT Endura 5500은 광범위한 고급 패키징 및 마이크로 패브라이션 어플리케이션에 대한 전자 빔 리소그래피 (electron beam lithography) 의 성능 이점을 제공합니다. 이 장비는 5500 미크론에 해당하는 픽셀 크기와 초당 최대 5,500 줄의 회선 속도로 설계되어 고해상도 나노 스케일 (nanoscale) 패턴화 기능을 제공합니다. 이 시스템은 또한 엔두라 마운트 소스 (endura-mounted source) 및 스테이지에서 유도 된 자기장과 관련된 이미지 왜곡을 효과적으로 제거하는 고급 자기장 보상 기술의 이점을 제공합니다. AMAT ENDURA 5500은 나노 포토닉 기능 인쇄, 웨이브 가이드 제작, 통합 스캐닝 전자 현미경 (SEM) 이미징 및 평면 패널 벤딩에 사용될 수 있습니다. ENDURA 5500은 또한 강력한 장치 디자인과 함께 매우 정밀한 전기 및 기계 성능을 제공합니다. 이 기계는 직경이 최대 24 "인 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500은 또한 자동 샘플 사전/포스트 프로세서를 제공하며, 이는 균일 한 패턴화를 보장하면서 처리 시간을 크게 줄일 수 있습니다. 이 도구는 정상 상태 자산 제어 (steady-state asset control) 로 작동하여 기판이 이동함에 따라 집중된 빔 및 즉석 조정을 정확하게 제어합니다. 또한 APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 단순화 된 형상과 사전 정의된 복합 형상을 단일 기판에 통합하는 제어 패턴 통합 모델을 제공합니다. 이 장비는 전례없는 프로세스 제어 및 장치 제작에 대한 유연성을 제공합니다. Endura 5500은 고속 전자 빔 패턴화를 위해 빠른 스캔을 할 수도 있습니다. 마지막으로, 이 시스템은 사용자 친화적인 설계로 인해 기존 인프라에 손쉽게 통합될 수 있어 신제품 출시 시간이 단축되었습니다 (영문). 결론적으로 AMAT/AMAT Endura 5500 Reactor는 최첨단 나노 스케일 패턴 기능을 제공하는 강력한 생산 지원 전자 빔 리소그래피 플랫폼입니다. 이 장치는 고급 프로세스 제어, 빠른 스캐닝 및 패턴 통합 (fast scanning and pattern integration) 기능을 제공하며 통합 스캐닝 전자 현미경 이미징에 최적화되었습니다. AKT ENDURA 5500은 복잡한 제조 요구 사항을 위해 설계된 제품으로, 광범위한 고급 패키징 (Packaging) 및 마이크로패브레이션 (Microfabrication) 어플리케이션에 적합합니다.
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