판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9258409
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판매
ID: 9258409
웨이퍼 크기: 8"
PVD Sputtering system, 8"
Wafer shape: SNNF
Chamber:
Chamber A: Pass chamber
Chamber B: Cooldown chamber
Chamber 1: AlCu NB
Chamber 2: TiN WB
Chamber 3: AlCu NB
Chamber 4: TiN WB
Chamber E and F: Degas chamber
Loadlock:
Widebody loadlock
Auto rotation
Cassette type, 8"
Mapping function: WWM
Vent type: Variable speed
Fast vent option
SMIF Interface
Mainframe:
HP Buffer robot
Buffer robot blade: Metal blade
HP+ XFER Robot
Buffer robot blade: Metal blade
LID Hoist
Light tower
Stand along remote monitor
Missing parts:
Mainframe:
Buffer / Transfer chamber cryo
Pump / Robot arm
Chamber 1:
Cryp pump
Chamber 2:
Cryo pump
Heater assembly
Shutter assembly
Chamber 3 and 4: Cryo pump
Loadlock: LLB Index
Rack electrical: PCB
Rack electrical:
Line voltage: 208 V
RF I and II Rack:
Line voltage: 208 V
Compressor electrical:
Line voltage: 208 V
9600 Compressor: 3 Phase
No UPS interface
NESLAB Electrical configuration
AC Rack:
Line voltage: 480 V
Full load current: 400 A
Frequency: 60 Hz.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 거친 화학 물질을 기판 표면에 공급하고 줄이기 위해 설계된 증착 장비입니다. 진공 및 에치 (etch) 애플리케이션에 사용되는 대규모 프로세스 머신입니다. AKT의 엔지니어들은 높은 수준의 안정성, 성능, 비용 효율성을 제공하도록 시스템을 설계했습니다. 그것은 종종 메모리 칩, 마이크로 일렉트로닉 구성 요소, 화학 기계 연마 과정 (processt of chemical mechanical polishing) 의 생산에 사용됩니다. AKT Endura 5500의 주요 구성 요소에는 원자로 챔버, 플라즈마 소스 및 일련의 진공 펌프가 포함됩니다. 원자로 챔버는 기질이 위치한 분리 된 공간입니다. 그것은 수행되는 증착 유형에 따라 섭씨 80 ~ 200 ° 의 온도로 가열됩니다. 원자로 챔버에는 기판을 쉽게 적재 및 언로드하기 위해 리프트 핀이 장착되어 있습니다. 발열 화학 공정 은 "가스 '를 도입 하고" 타이밍' 과 압력 을 조절 함 으로써 이루어진다. 또한, 이 장치에는 다중 (multiple), 밸브 (valve) 및 압력 매개변수를 설정하고 제어할 수 있는 디지털 제어판이 있습니다. AMAT ENDURA 5500 플라즈마 소스는 저에너지 플룸 (plume) 을 생성하며, 이는 여러 가스 소스를 갖는 보호 된 세라믹 페이스 플레이트에 의해 생성됩니다. "플라즈마 '원 은 물질 의 증착 속도 를 조절 하고 기판 전체 의 균일성 과 일관성 을 보장 할 수 있다. 진공 "펌프 '는 방 내 의 진공 상태 의 대피 와 보존 에 사용 된다. 또한 대상 서피스 (Target Surface) 로의 재료 수송을 보장합니다. 펌프에는 자동 기계 압력 제어 및 필터링 기능이 장착되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 도구는 증착 공정을 정확하게 제어하며, 사용자가 다양한 물리적 속성을 가진 엔지니어링 된 재료를 처리 및 조정할 수 있습니다. 또한, 기계는 고급 모니터링 시스템을 갖추고 있으며, 기판 온도, 압력 수준, 증착 물질 두께 (thickness of deposited material) 와 같은 여러 매개변수를 제어하고 모니터링 할 수 있습니다. 에셋은 또한 장애 감지 (fault detection) 및 경고 (alert) 기능을 제공하여 일반적인 오류를 쉽게 감지하고 해결할 수 있습니다. 전반적으로 ENDURA 5500은 여러 재료 처리 응용 프로그램에 대해 효율적이고 안정적인 생산을 제공합니다. 이 제품은 높은 수준의 안정성, 성능, 유연성을 제공하므로 제조 프로세스를 사용자 정의하고 제어할 수 있습니다.
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