판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9257279
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판매
ID: 9257279
빈티지: 1993
PVD System
Chambers:
(4) PVD chambers (2 TiN and 2 Al)
(2) Degas chambers
(1) Preclean chamber
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001
MKS Type 627 Pressure Transducer
MKS Type 627 Pressure Transducer
MKS Type 627 Pressure Transducer
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS SPLTR Box Tool 8135240G001
CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
CTI-CRYOGENICS Valve 8112095
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116027G001
CTI-CRYOGENICS On-Board FastRegen Sputtering Control
MKS Type 627 Pressure transducer
Endura Wafer lift assembly 101 Rev. 003 0010-70271
8" Preclean II RF Match 0010-20524 (Label PN 0060-21140)
Endura Wafer lift assembly preclean 2 Rev. 003, 21902-08
MKS Type 627 Pressure transducer
0010-20277
8" Degas Lamp 350C 0010-20317
8" Degas Lamp 350C 0010-20317
CTI-CRYOGENICS On-Board Module 8113100G001
CTI-CRYOGENICS Roughing Valve 8112579G001
Gas Box #1 0010-20217 Rev. B
CTI-CRYOGENICS / HELIX TECHNOLOGY 0120-60-4887
CTI-CRYOGENICS On-Board 8F Cryopump 8116142G001
Loadlock A (11)
Loadlock B (0620-01049)
Operator Control Panel BD Assy. 0100-20032 Rev. D
ViewSonic E55 Monitor VCDTS21914-2M
Standalone VGA Monitor Base 0010-70386 Rev. A
Gas Box #2 0010-20218 Rev. B
Gen Rack #1
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
ADVANCED ENERGY MDX-L12-650
ADVANCED ENERGY MDX-L12M-650
Gen Rack #2
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
Gen Rack #3
ADVANCED ENERGY LF10A
COMDEL RF Power Source CPS-1001S
GRANVILLE-PHILLIPS Ionization gauge supply 332102
15V PS Assembly
24V PS Assembly
CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001
CPRSR High Perf Model 9600 3620-01389 Rev. A
CTI-CRYOGENICS On-Board 3PH MTR Control 8124063G001
Thornton 200CR
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135917G001
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor 8135909G001
NESLAB BOM # 327099991701
EBARA A30W
EBARA A70W
HARMONIC GEAR UGH50-28
VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG
VEXTA 5-Phase Stepping Motor A4249-9215HG-A1
GEORG FISCHER V 82
Supply voltage: 480 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
Max system rating: 150 kW
Largest load ampere rating: 42 A
Interrupt current: 10,000 Amps IC
1993 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 고급 자동 원자로 장비입니다. 이 시스템은 다양한 생산 플랫폼 (production platform) 으로 기능하며, 다양한 프로세스 작업을 처리할 수 있습니다. 여기에는 증착, 에칭, 산화, 수소화 및 화학 증기 증착 (CVD) 이 포함됩니다. AKT Endura 5500의 메인 프레임은 통합 클리닝 챔버, 가스 모듈 및 온도 조절 샘플 챔버로 구성됩니다. 클리닝 챔버 (cleaning chamber) 는 다른 프로세스가 시작되기 전에 챔버 벽을 비활성화하는 데 사용됩니다. 가스 모듈은 헬륨, 질소, 아르곤 및 산소의 균일 한 공급을 제공합니다. 샘플 캐리어의 온도는 30 ° C ~ 400 ° C의 정확한 온도로 조절 될 수 있습니다. 전반적으로 AMAT ENDURA 5500은 단일 기계의 정밀도, 반복성, 신뢰성을 결합한 고급 장치입니다. TPA (Total Process Automation) 를 통해 운영자는 단일 솔루션으로 복잡한 프로세스를 모니터링, 제어 및 문서화할 수 있습니다. 이것은 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 와 독점 PID 제어 도구를 통해 수행됩니다. 자산의 프로세스 컨트롤러 (Process Controller) 는 실시간 프로세스 모니터링, 레시피 관리, 통합 데이터 로깅 등의 다양한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 또한, 이 모델에는 새로운 프로세스의 공식 최적화 및 개발이 가능한 프로세스 자동화 (process automation) 기능이 장착되어 있습니다. 엔두라 5500 (ENDURA 5500) 은 최고 품질의 결과를 내기 위해 필요한 높은 수준의 반복 가능성으로 제작되었습니다. 한 "세션 '에서 다음" 세션' 까지 동일 한 결과 를 거둘 수 있도록 약실 의 벽 은 오염 에 더욱 강해졌다. Endura 5500은 반도체 생산에 최적화된 신뢰할 수있는 고급 원자로 장비입니다. 자동화된 프로세스, 프로세스 제어 (process control) 기능, 데이터 로깅 시스템 등은 미션 크리티컬한 산업 요구 사항에 가장 적합한 솔루션입니다. 반복 가능성, 신뢰성 및 프로세스 최적화의 조합으로 APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 해당 분야의 진정한 보석입니다.
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