판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9241774
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ID: 9241774
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
MOCVD System, 8"
Wafer shape: SNNF
MF Facilities: Bottom
Load lock type: Narrow BD without tilt out
CTI-CRYOGENICS Buffer chamber
CTI-CRYOGENICS Transfer chamber
No SMIF interface
Mainframe:
Buffer robot type: HP+
Wafer sensor: Mini beam
Buffer robot blade: Metal
Transfer robot type: HP+
Transfer robot blade: Metal
Hard Disk Drive (HDD): SCSI
(2) CRT Monitors
Chamber 1:
Type: IMP Vectra
Process 1: Ti
Susceptor / Pedestal: B101
Process kit type: IMP
Single manometer configuration
Lid type: G12
Chamber pump: 3P Onboard 8F
Manometer 1: 100 mTorr
Heater / Cathode cooling: NESLAB II
CTI-CRYOGENICS Cryo pump
LEYBOLD Turbotronik NT 150/360 Turbo controller
(2) RF Generators / DC Supplies
ADVANCED ENERGY MDX-L12M
ADVANCED ENERGY HFV-8000
ADVANCED ENERGY CX-600S
RF Match: 13.56 MHz, 2 MHz
Shutter option
Gate valve position: 3-Position
2 MHz Matching box capacitor: 0.01uF
Chamber 2:
Chamber type: TxZ HP+
Process 2: CVD TiN
Susceptor / Pedestal: HP+
Dual manometer
Wall cooling: AMAT1
Chamber pump: AA70W
Manometer 1: 10 Torr
Manometer 2: 100 Torr
No endpoint system
Throttle valve
Heater / Cathode cooling: PCW
ADVANCED ENERGY PDX 900-2V RF Generator / DC Supply
LEYBOLD 361C Turbo pump
LEYBOLD Turbotronik NT 150/360 Turbo controller
EBARA AA70W Pump
Gate valve position: 2-Positions
Chamber 3:
Chamber type: TxZ HP+
Chamber process: CVD TiN
Pump configuration: 361C
Susceptor / Pedestal: HP+
Dual manometer
Wall cooling: AMAT1
Chamber pump: AA70W
Manometer 1: 10 Torr
Manometer 2: 100 Torr
Throttle valve
Heater / Cathode cooling: PCW
ADVANCED ENERGY PDX 900-2V RF Generator / DC Supply
LEYBOLD 361C Turbo pump
EBARA AA70W Pump
Gate valve position: 2-Positions
No endpoint system
Chamber A:
Chamber type: Pass through
Chamber lid: Clear lid
Chamber B:
Chamber type: Cool down
Heater / Cathode cooling: PCW
Chamber lid: Clear lid
Chamber D:
Chamber type: PCII
Chamber process: Oxide etch
Single manometer
Lid type: Resonator
EDWARDS iL600N Chamber pump
Manometer 1: 100 m Torr
COMDEL CPS 1001S RF Generator / DC Supply
LEYBOLD Turbovac 361C Turbo pump
LEYBOLD Turbotronik NT 150/360 Turbo controller
EBARA iL70 Pump
RFPP LF10A RF Generator / DC Supply
RF Match: 13.56 MHz
COMDEL CPS-1001S
RFPP LF-10A
Module:
AMAT / APPLIED MATERIALS System controller
(2) AMAT / APPLIED MATERIALS Generator racks
AMAT / APPLIED MATERIALS Main AC box
NESLAB
AMAT / APPLIED MATERIALS Heat exchanger
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor
CTI-CRYOGENICS 3P Motor controller
EDWARDS iL600N Pump
Controllers:
Slot / Top rack board
1 / SBC Board
2 / Videl board
3 / OMS Board
4 / Digital input / Output board 1
5 / Digital input / Output board 2
6 / Digital input / Output board 3
7 / Digital input / Output board 4
8 / Digital input / Output board 5
9 / Digital input / Output board 6
10 / SEI Board
13 / Digital input / Output board 7 (Option)
14 / AO Board 1 (Option)
15 / Stepper board 1
18 / Stepper board 2
19 / AI Board
20 / AO Board 2
21 / AO Board 3
22 / Hard Disk Drive (HDD)
23 / Grounding JAC
24 / Convectron board
25 / Convectron board
26 / Convectron board
27 / Convectron board
28 / TC
29 / TC
30 / ION Gauge board 1
31 / ION Gauge board 2
32 / Spare
33 / Digital input / Output board 8
34 / Digital input / Output board 9
35 / Digital input / Output board 10
37 / Digital input / Output board 12
39 / Digital input / Output board 14
40 / Floppy disk
42 / Cryo temp
43 / AI Mux
44 / AI Mux
45 / AI Mux
47 / Opto detect board 1
48 / Opto detect board 2
49 / Opto detect board 3
Power supply: 200 VAC, 60 Hz, 3 Phase, 343 A, 150 kVA
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 고급 반도체, 태양 광 전자 및 기타 응용 분야를 위해 설계된 혁신적인 CVD (automated chemical vapor deposition) 박막 코팅 원자로입니다. AKT 엔두라 (Endura) 5500 원자로는 5500 리터의 공정 챔버 볼륨과 핫월 (hot wall) 원자로 설계를 통해 광범위한 활성 냉각 장비 덕분에 높은 열 효율성과 안정성을 제공합니다. 원자로는 AKT 특허를 받은 핫월 (hotwall) 공정을 기반으로 하여 다양한 박막 재료에 대한 최적의 성장 조건을 제공합니다. AMAT ENDURA 5500은 특허 라이너 (patented liner) 를 사용하여 외부 생성 된 입자를 프로세스에 도입하지 않고 챔버에 직접 웨이퍼를 적재 할 수 있습니다. 이 라이너는 필드 크라우딩 (field crowding) 으로 인해 포켓과 웨이퍼의 얇음을 최소화하거나 제거하도록 설계되었습니다. 또한, 포함 된 스크러버 스트립은 챔버 내에서 가장 높은 프로세스 순도를 유지합니다. 또한 APPLIED MATERIALS ENDURA 5500에는 프로세스 제어를 최적화하고 최적의 필름 특성을 제공하기 위해 온보드 측정 챔버가 포함되어 있습니다. AKT ENDURA 5500은 혁신적인 유니폼 인젝터 흥분 시스템과 특허를받은 멀티 포인트 흥분 패턴을 사용하여 그림자 효과를 제거하고, 더 큰 웨이퍼 크기에 대한 균일성을 달성하며, 효율적이고 균일 한 필름 성장을 위해 균일 한 플라즈마를 제공합니다. 원자로 의 "핫월 '설계 는 고도 의 재료 들 을 위한 이상적 인 작업 환경 을 조성 하고, 고온 에 있어서도, 우수 한" 필름' 특성 을 산출 한다. 전동식 캐리어 로딩 및 엔드 스테이션 로봇은 대용량 처리량을 지원하도록 설계되었습니다. 완전 자동화 장치는 로드 잠금 챔버, 단순화 된 제어, 온도 조절 및 작동 중 실시간 모니터링을위한 HMI (Human Machine Interface) 를 제공합니다. 요약하자면, AMAT Endura 5500은 프로세스 유체 제어 및 생산을 위해 설계된 안정적이고 효율적인 CVD 원자로입니다. 5500 리터 공정 챔버 및 외부 스크러버 라이너 (crubber liner) 가 장착 된이 핫월 머신은 박막 재료를 성장시키고 최적의 박막 특성을 만드는 데 이상적입니다. 균일 한 인젝터 흥분 도구, 멀티 포인트 흥분 패턴 및 전동식 캐리어 로딩 기능은 무선 주파수 기반 박막 증착에 매우 효율적이고 안정적인 자산을 제공합니다.
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