판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9240239
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판매
ID: 9240239
Sputtering system
LLC: Wide
V452
Robot: Buffer HP and transfer HP
(2) AL Chambers
(2) TTN Chambers
PCII Chamber
(2) Orient DEGAS chambers
Cryo pump: 3-Phase enhanced
(2) CTI 9600 Compressors
NESLAB Chiller.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 탁월한 성능과 높은 신뢰성을 위해 설계 및 제조 된 차세대 반도체 원자로입니다. 이 원자로에는 3 세대 온도 컨트롤러 (temperature controller) 가 장착되어 있으며 최대 200W의 전력을 생산할 수 있습니다. AKT Endura 5500 챔버는 흑연 섬유와 스테인리스 스틸로 만든 혁신적인 구조로 설계되었습니다. 이 구조는 챔버 인테리어 (chamber interior) 의 뛰어난 단열재를 제공하여 처리 속도가 빨라지고 작동 효율이 향상됩니다. AMAT ENDURA 5500 원자로는 습식 에치, 스퍼터 클리닝, 이온 이식 및 증착 응용을 위해 설계되었습니다. 또한 트랜지스터, 메모리 칩, 집적 회로를 포함한 반도체 장치에도 적합합니다. 원자로는 200, 300mm 웨이퍼 크기로 작동 할 수 있으며, 다양한 응용 분야에 적합합니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500 원자로는 모듈식 디자인의 DMD (Digital Micromirror Device) 를 통해 유연성과 확장성이 뛰어납니다. 원자로에는 표면 온도를 측정하는 데 사용할 수있는 열 적외선 이미징 (TIR-I) 기능이 장착되어 있어 에칭 (etching) 프로세스를 최적화 할 수 있습니다. 또한, 원자로는 실시간 질량 제어 시스템 (real-time mass control system) 을 통해 정밀 제어를 통해 정확한 화학 물질과 도펀트를 제공 할 수 있습니다. 이렇게 하면, 적절 한 양 의 재료 가 그 과정 에 전달 되어, 생산량 이 더 좋아지고, 생산 시간 도 향상 된다. 엔두라 (ENDURA) 5500 원자로는 신뢰성이 높으며, 우발적 오염 또는 공정 유출을 방지하기 위해 최신 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 다양한 안전 프로토콜과 호환되며 SEMI와 같은 독립 안전 조직의 인증을 받았습니다. AKT ENDURA 5500 원자로는 다양한 크기와 구성으로 제공되며, 특정 생산 요구 사항에 맞게 조정될 수 있습니다. 이는 소규모/대규모 반도체 제조 작업 모두에 이상적인 선택입니다. 더욱이, 원자로 는 광범위 한 세계적 인 "서비스 '네트워크 의 지지 를 받으며, 어디 에서나 전문가 들 의 지원 을 받는다.
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