판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9217151

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 반도체 제작 공정에서 복잡한 재료 처리를 처리하도록 설계된 고성능 원자로입니다. 5500은 CVD (chemical vapor deposition), ALD (atomic layer deposition) 및 RPE (remote plasma etching) 와 같은 다양한 프로세스를 수행 할 수있는 고급 장비입니다. 저압 (low pressure), 높은 증착률 (high deposition rate), 뛰어난 균일성 (excellent unifority) 으로 각 애플리케이션에 대해 엄격한 프로세스 제어를 제공합니다. 5500은 높은 생산량과 최대 비용 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 직접 세라믹 난방 (direct ceramic heating) 및 활성 피치 제어 (active pitch control) 를 사용하여 빠른 난방 시간과 뛰어난 공정 반복성을 제공합니다. 또한 고급 냉각 시스템 (Advanced Cooling System) 이 있으며, 반응 챔버에서 열 제거가 최적화되어 기판의 열 손상을 방지합니다. AKT Endura 5500에는 유도 결합 플라즈마 응용 프로그램을위한 통합 RF 전원 장치도 있습니다. 이렇게 하면 "플라즈마 '동력 을 정밀 히 제어 할 수 있으며, 전력 수준 의 감소 와 저하 증착률 에서 고급" 에치' 처리 가 가능 하다. 5500에는 고급 처리 장치 (Advanced Handling Machine) 가 장착되어 기판의 빠른 로드 및 언로드, 빠른 주기 시간, 향상된 처리량을 제공합니다. 또한 에칭, 증착, 임플란테이션 등 포괄적인 애플리케이션 기능을 갖추고 있습니다. 이 툴에는 각 애플리케이션에 대한 템플릿이 있으며, 운영자의 개입이 거의 필요하지 않은, 안전하고 반복 가능한 처리를 제공합니다. AMAT ENDURA 5500 (AMAT ENDURA 5500) 은 반도체 제작을 위한 강력하고 안정적인 도구로서, 사용자에게 향상된 수익률과 비용 효율성을 제공합니다. 뛰어난 프로세스 반복 가능성, 정확한 플라즈마 매개변수 제어, 다양한 애플리케이션 기능 등을 갖추고 있습니다. 고급 기능, 안정적인 성능을 갖춘 5500은 반도체 프로세싱에 이상적인 선택입니다.