판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9203802

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 나노 스케일 구조의 석판화 패턴을 달성 할 수있는 기능으로 사용자에게 힘을 실어 주도록 설계된 최첨단 반도체 원자로입니다. 첨단 나놀리토그래피 (nanolithography) 및 플라즈마 에칭 (plasma etching) 기술을 통합하여 기술적으로 가장 어려운 제조 환경의 요구를 충족시킵니다. 완전 통합형 플랫폼 (platform) 을 통합한 이 시스템은 다양한 애플리케이션에 적합한 소형 폼 팩터 (form faction) 로 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. AKT Endura 5500은 나노 전자 개발 및 생산을 위해 설계된 강력하고 고속, 공백 기반 장치입니다. 이 기계는 4 축 동력 단계, 정전기 클램핑 도구, 스테이지 제어 자산, RF 생성기 및 고진공 챔버를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 최적의 모델 및 프로세스 성능을 보장하기 위해 AMAT ENDURA 5500에는 온보드, 통합 노출 제어 장비가 장착되어 있습니다. 이 "시스템 '은 노출 기간, 기판 에 전달 되는" 에너지' 의 양 및 전기장 의 강도 를 감시 한다. 또한, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500은 특허를받은 정전기 클램핑 장치를 통합하여 패턴 구조의 품질이 정확하고 균일하게 복제되도록 합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 5500에는 최대 5kW의 전력을 생성 할 수있는 고출력, 공랭식 RF 발전기가 포함되어 있습니다. 이를 통해 필요한 플라즈마 전원이 프로세스 에칭 및 100 nm 이하의 기능에 사용할 수 있습니다. 이 기계에는 강인한 재료를 처리 할 수있는 플라즈마 증착 소스가 장착되어 있습니다. 또한 통합 소프트웨어 (Integrated Software) 는 단일 액세스 지점에서 공구를 모니터링하고 제어할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. 엔두라 5500 (Endura 5500) 이 제공하는 반도체 공정 기능 중 에셋은 질화물 필름, 폴리 실리콘, 구리, 금속 산화물 등을 포함한 많은 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 모델에는 일반적인 프로세스 변형을 보완하기 위해 자동 프로세스 제어 (automatic process control) 및 조정 가능한 매개변수 (tunable parameter) 가 장착되어 있습니다. 이 장비의 다양성은 또한 CMP, 리소그래피, 기판 결합, 패턴 전송, 수동화 등 다양한 응용 분야에 매력적입니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500의 디자인은 안정성이 높고, 내구성이 뛰어나며, 유지 및 운영이 용이합니다. 온도가 제어되고 온도가 통합된 센서와 피드백 루프 (feedback loop) 가 장착되어 있어 각 실행에 균일한 처리 조건이 보장됩니다. 게다가, 자가 진단 기능 (self-diagnostic function) 으로 인해이 장치는 실시간으로 장애를 감지하고 사용자에게 경고함으로써 다운타임을 줄일 수 있습니다. 결론적으로 AMAT Endura 5500은 현대 나노 전기에서 기술의 정점을 나타냅니다. 통합 플랫폼 (Integrated Platform) 은 작은 설치 공간에서 다양한 프로세스 기능을 제공하며, 고급 기능 (Advanced Feature) 은 다양한 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.