판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9202549
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ID: 9202549
웨이퍼 크기: 8"
PVD System, 8"
Accessories not included
NESLAB III
Robot: HP (Buffer and transfer)
Loadlock: Narrow body
Chamber A: Pass thru
Chamber B: Cool down
Chamber C: Preclean PIK II
Chamber E / F: Orienter / Degas
Wide body: AlCu, TiN
Water cool: MCA+ / 9600 Compressor.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reactor는 다양한 기판의 정밀 플라즈마 처리 및 에칭을 가능하게하도록 설계된 혁신적인 반도체 처리 장비입니다. 나노 스케일 (nanoscale) 수준에서 고급 재료 처리를 가능하게 하며 고성능 디바이스 제작에 이상적입니다. AKT Endura 5500의 고급 아키텍처는 다양한 구성 가능한 프로세스 모듈을 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스 매개 변수를 조정하여 개별 애플리케이션의 요구 사항을 정확하게 충족할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 여러 가스 제어 (gas control) 옵션을 제공하여 하나의 유닛 내에서 다양한 공정 가스 (process gase) 기능을 제공합니다. 이러한 과정에는 에칭, 스트리핑, 산화, 질화 및 기타 이화 과정이 포함됩니다. AMAT ENDURA 5500은 개선 된 반응 챔버 (reaction chamber) 설계를 특징으로하여 챔버 내에서 뛰어난 공정 균일성과 정확한 온도 제어를 가능하게합니다. "챔버 '는 자동 청소기 로 설계 되었는데, 이것 은 가동 중지 시간 을 줄이고 생산성 을 향상 시킨다. Endura 5500의 고효율적이고 강력한 PCU (Power Control Unit) 는 정확하고 안정적이며 반복 가능한 작동을 보장하도록 설계되었습니다. PCU를 사용하면 적용된 프로세스의 RF 및 DC 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스 설정을 신속하게 최적화할 수 있습니다. ENDURA 5500의 고급 가스 전달 모듈은 다양한 프로세스 가스 흐름을 균일하고 반복적으로 제어합니다. 이 모듈을 통해 사용자는 가스 유량 (gas flow rate) 과 압력 (pressure) 을 정확하게 제어하여 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 프로세스 제어 및 자산 최적화를 용이하게 하는 자동화된 소프트웨어 도구를 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 또한 조정 가능한 프로세스 매개변수를 제공하며, 사용자가 미리 프로그래밍된 레시피를 구현할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 신속하게 레시피를 변경하고 신속한 프로세스 최적화를 수행할 수 있습니다. AMAT Endura 5500은 다양한 프로세스 요구 사항을 처리 할 수있는 다용도 모델입니다. 고급 기능을 갖춘 이 장비는 고성능 디바이스 제작에 적합합니다. 결론적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 Reactor는 다양한 재료 처리 응용 프로그램에 뛰어난 성능을 제공하는 고급적이고 강력한 시스템입니다. 고급 아키텍처, 효율적인 전원 제어 기능, 자동화된 소프트웨어 장치 (Software Unit) 를 통해 높은 생산성과 정밀 결과를 얻을 수 있는 이상적인 툴입니다.
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