판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9199428

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 광범위한 공정 응용 분야에 사용되는 산업용 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 즉, 오늘날의 고급 프로세스 요구사항을 충족하는 데 필요한 유연성과 생산성을 바탕으로 획일적이고 안정적인 프로세스 기능을 제공합니다 (영문). AKT Endura 5500은 대형, 비 균일 한 기능에 대해 최적의 증착률과 균일성을 달성하도록 설계된 저압 PECVD 원자로입니다. 그것 은 여러 가지 기판 에서 우수 한 균일성, 부드러운 "코우팅 ', 그리고 훌륭 한 표면 마무리 를 만들어 낼 수 있다. 장비의 폭넓은 기능을 통해 사용자는 프로세스를 손쉽게 튜닝 (tuning) 하여 특정 요구 사항을 충족할 수 있습니다. AMAT ENDURA 5500에는 정밀하고 안정적인 프로세스 매개 변수 제어 기능을 제공하는 고급 자동 프로세스 제어 시스템 (Automated Process Control System) 이 장착되어 있습니다. 다양한 가스 및 캐리어 가스 및 도펀트 구성을 처리 할 수 있습니다. 통합 장치 설계는 공정 안정성과 침착 가스의 거품 없는 전달을 보장합니다. AKT ENDURA 5500은 사용자의 증착 요구 사항을 충족하기 위해 광범위한 플라즈마 소스 및 공정 챔버를 제공합니다. 여기에는 최대 증착 속도와 안정성을 달성 할 수있는 고성능 마그네트론 (magnetron) 소스가 포함되며 최대 9 개의 다른 프로세스 가스를 수용 할 수 있습니다. 또한이 기계는 25 개의 가스 전달 단계를 통해 균일 한 공정 가스 배달을 제공합니다. ENDURA 5500은 매우 컴팩트한 디자인을 제공합니다. 이렇게 하면 운영 라인 또는 도구 설정에 장치를 쉽게 통합할 수 있습니다. 원자로 플랫폼은 설치 및 유지 보수와 관련된 복잡성을 최소화하도록 설계되었습니다. 또한 자산 (Asset) 의 소프트웨어 기능은 사용자 친화적인 기능으로, 고유한 프로세스 요구 사항을 쉽게 충족할 수 있습니다. 전반적으로 Endura 5500 원자로는 모든 응용 프로그램에 고급 성능과 안정성을 제공합니다. 설계 및 기능을 통해 사용자는 유연성과 정확성을 극대화하여 최적의 프로세스 결과를 얻을 수 있습니다 (영문).