판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9193779

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 원자로는 고품질 연구 및 생산 요구를 위해 설계된 최첨단 화학 증기 증착 장비입니다. 직관적이고, 사용자 친화적인 소프트웨어와, 정확한 엔지니어링 및 고급 프로세스 제어가 특징입니다. AKT Endura 5500은 매우 얇은 재료 및 전구체 증착, 금속 산화물 및 금속 질화물 박막의 무기 및 유기 화학 증발 (CVD), 원자 층 증착 (ALD) 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. 대형 서셉터 크기, 빠른 응답 시간, 고도로 사용자 정의 가능한 챔버 구성, 빠른 램프 속도 (rate ramp rate) 를 갖춘 대용량 박막 증가에 이상적인 선택입니다. 금속 밀봉 AMAT ENDURA 5500 시스템은 자동 웨이퍼 처리, 프로그래밍 가능한 챔버 구성 및 모듈 식 전기 장치를 갖추고 있습니다. 초박형 레이어 증착의 경우, AKT ENDURA 5500의 공장 튜닝 소스 구성은 증착 프로세스를 정확하게 제어합니다. 이러한 정밀 공급원은 기판-기판 간섭을 감소시켜 균일 한 증착을 보장합니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500에는 이중 증착 소스 포트도 포함되어 있으므로 여러 재료를 동시에 배치 할 수 있습니다. 5500은 웨이퍼 스케일 박막 증착 (wafer-scale thin film deposition) 에서 나노 구조의 가스상 합성 (gas-phase synthesis) 에 이르기까지 높은 진공 공정과 중간 진공 공정에 쉽게 통합되도록 설계된 기본 플랫폼을 기반으로합니다. 스테인리스 스틸 구조는 뛰어난 기계적 안정성을 제공합니다. 챔버 벽 (chamber walls) 에는 공구 및 공정 센서 용 챔버 내부에 대한 외부 액세스를 제공하는 높은 진공 호환 플렉스 피드 스루가 있습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 최대 300mm 웨이퍼의 빠르고 효율적인 처리를 위해 인사이트 로드 락 머신 (in-situ load lock machine) 을 사용하며, 주 증착실에 도입하기 전에 공정 조건을 테스트하기위한 가스 제거 및 열 베이크 아웃 기능을 제공합니다. 이 로드 잠금 도구는 오염을 최소화하고, 균일하고, 재현 가능한 박막 증착을 보장합니다. 5500에는 각 프로세스를 최적화하는 고급 온도 및 압력 제어 시스템이 포함되어 있습니다. 각 공정은 챔버 전체에서 정확한 온도 조절을 보장하도록 설계되었습니다. 버블러 (Bubbler) 기반 습도 제어 자산 (옵션) 을 사용하면 습식 전구체, 반응물, 습기 가스와 같은 다양한 소스를 사용하여 우수한 균일 성을 가진 재료의 증착을 지원할 수 있습니다. 이 모델에는 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 여기에는 항상 챔버 압력을 모니터링하는 이온 게이지 (ion gauge) 과압 모니터링 장비가 포함됩니다. 안전 센서 (Safety Sensor) 의 배열은 지속적으로 모니터링되며, 시스템은 장치 무결성을 보장하기 위해 다양한 HMI 및 경고 (Alert) 를 갖추고 있습니다. 전반적으로, ENDURA 5500은 강력하고 신뢰할 수있는 기계이며, 최적의 박막 증착을 위해 정교하고 직관적인 제어 플랫폼을 제공합니다. 사용자 친화적인 소프트웨어, 다용도 챔버 (chamber) 구성, 로드 잠금 (load lock) 도구, 고급 안전 (safety) 기능을 통해 다양한 리서치 및 프로덕션 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다.