판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9192923

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 에칭 응용 분야를 위해 특별히 설계된 고급 반도체 원자로입니다. 원자로 (reactor) 는 물리적, 화학적, 열적 과정을 결합하여 작은 구조를 뛰어난 일관성, 속도 및 균일성으로 식각 할 수있는 고정밀 기판 처리 시스템을 만듭니다. 원자로는 직경이 큰 챔버 (chamber) 와 공정 창 (process window) 으로 설계되어 접근성과 균일성이 향상되었습니다. 뛰어난 웨이퍼 모션 컨트롤 (Wafer Motion Control) 기능을 통해 일관되고 반복 가능한 프로세스와 최적의 안전 및 편의성을 위한 이중 덮개 시스템 (Dual Lid System) 을 보장합니다. AKT Endura 5500에는 자동화된 Robomatrix FOUP (Front Opening Unified Pod) 인터페이스가 장착되어 있어 여러 FOUP를 동시에 처리할 수 있습니다. 또한 고압 및 저압 에칭, 증착 (스퍼터링 또는 CVD 프로세스 사용), 어닐링 및 청소를 포함한 다양한 고급 프로세스 기능을 제공합니다. 이를 통해 다양한 장치 구조를 신속하고 효율적으로 운영, 유지 관리할 수 있으며, 매우 까다로운 에칭 (etching) 애플리케이션에서도 품질이 보장됩니다. AMAT ENDURA 5500에는 배치 및 프로세스 간의 반복성을 보장하는 온보드 APCS (Advanced Process Control System) 가 장착되어 있습니다. APCS는 압력, 온도, 가스 흐름 등 모든 프로세스 매개변수에 대한 실시간 모니터링을 제공하며, 사용자에게 피드백을 제공합니다. 따라서 처리 시간을 최소화하고, 가동 중지 시간을 최소화하고, 디바이스 생산량 및 품질을 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로, APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 고정밀 에칭 어플리케이션에 이상적인 선택이며, 고급 프로세스 기능 및 강력한 APCS의 도움을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 을 사용하면 효율적이고, 안전하며, 신뢰할 수 있는 에칭 솔루션을 통해 가장 까다로운 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있습니다.