판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9188759
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판매
ID: 9188759
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
PVD System, 8"
Narrow body load locks
PCII: Pre-clean
Wide body chamber: G12 source, B101 heater
Wide body chamber: G12 source, E-chuck
HEWLETT-PACKARD Robots buffer / Transfer
Chamber F: Orienter / Degas
Chamber A: PT
Chamber B: CD
Chamber 2: WB With shutter
Chamber 3: WB
1997 vintage.
AKT (AMAT) AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 재료 증착 및 에치 응용을 위해 설계된 통합 반도체 원자로입니다. 고급 증착 (Advanced Deposition) 및 에치 처리 (Etch Processing) 에서 탁월한 처리량, 정밀도 및 제어를 제공하는 긴 실적으로 설계되었습니다. AKT Endura 5500은 큰 플라즈마 챔버로 반도체 처리를 개선하여 소스 가스 부피, 공정 및 보조 가스 소스에서 고정밀 온도 제어, 최첨단 소프트웨어 기능 모두를 확장 할 수 있습니다. 이 원자로는 다양한 프로세스를 지원할 수 있어, 고객이 HDI (Thin-film and High-Density Interconnect) 제작의 효율성과 확장성을 높일 수 있습니다. AMAT ENDURA 5500은 여러 증착 및 에치 프로세스를 지원하는 모듈 식 플랫폼입니다. 5 "미터 '폭의 대형 아크챔버, 여러 소스에서 일관된 성능을 보장하는 가스분사 시스템, 생산량 증대, 공정 반복성 향상 등 다양한 이점을 제공하는 생산성이 뛰어난 장비다. 또한, 이 기계는 고객 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있는 통합 리프팅 챔버 (Lifting Chamber) 및 보조 부품을 갖추고 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500에는 통합 HMA (High-Matrix Aiming) 정렬 도구가 포함되어 있으므로 구성 요소를 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. HMA (HMA) 는 기판의 균일성을 보다 쉽게 달성하여 웨이퍼 배치 및 정렬의 정밀성을 보장합니다. 또한 APPLIED MATERIALS ENDURA 5500에는 정밀한 정렬 및 균일성을 보장하면서 여러 레이어를 신속하게 구성 할 수있는 고급 모션 컨트롤 (motion control) 기능이 장착되어 있습니다. AKT ENDURA 5500은 높은 신뢰성, 동적, 검증된 자산으로, 반도체 업계에서 가장 높은 수준의 증착/식각 처리 성능을 얻을 수 있습니다. 이 모델의 모듈식 설계 (Modular Design) 를 통해, 고객의 요구 사항에 맞게 손쉽게 맞춤형으로 구성할 수 있으며, 특정 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 첨단 기술인 엔두라 5500 (Endura 5500) 은 최고의 정밀도를 제공하며 처리량 및 프로세스 반복성을 높입니다. 유연성, 제어, 품질을 추구하는 최신 반도체 제작 센터에 적합한 선택입니다.
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