판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9164914

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 광범위한 응용 분야를 위해 설계된 수제 화학 증기 증착 (CVD) 장비입니다. 이 시스템은 진공 챔버, 고압 가스 믹싱 유닛, 로봇 디스펜싱 머신 및 컨트롤러로 구성됩니다. AKT Endura 5500은 주로 반도체, 미세 전자, MEM, 에너지 및 광학/광자 성분의 재료의 증착 및 에칭에 사용됩니다. AMAT ENDURA 5500은 CVD 프로세스를 사용하여 기판에 필름을 입금합니다. CVD 는 물질 증기 와 기질 의 "가스 '상 반응 을 이용 하여 증착 된" 필름' 을 생성 하는 과정 이다. 이 과정은 일반적으로 금속 상호 연결, 장벽 층, 게이트 유전체와 같은 반도체 재료를 만드는 데 사용됩니다. 응용 물질 Endura 5500은 산화물, 질화물, 탄화물, 금속 등 다양한 물질을 침전시킬 수 있습니다. AMAT Endura 5500은 3 단계 고압 가스 혼합 도구를 사용합니다. 이 자산을 사용하면 증착 과정에서 사용되는 프로세스 가스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 전형적인 증착 과정에서, 혼합 모델은 가스를 증착 반응이 일어나는 기질 표면 (기질 표면) 으로 옮기는 데 사용된다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500에는 공정 재료를 기판 표면에 이동하고 분배하는 로봇 분배 장비가 장착되어 있습니다. 로봇 암은 재료를 균일 한 분포를 위해 정확한 위치에 배치하는 데 사용됩니다. Endura 5500에는 압력 센서 (Pressure Sensor) 및 자동 안전 종료 (Automated Safety Shutdown) 기능과 같은 안전한 작동을 지원하는 여러 기능도 포함되어 있습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 시스템의 모든 구성 요소를 통합하는 컨트롤러에 의해 제어되며, 이를 통해 운영자는 프로세스를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 컨트롤러는 MATLAB 및 LabVIEW와 같은 업계 표준 소프트웨어 패키지와 호환되므로 고급 프로세스 제어 (process control) 및 자동화를 위한 장치 통합이 가능합니다. 전반적으로 AKT ENDURA 5500은 재료 증착 및 에칭 분야에서 광범위한 응용 분야를 위해 설계된 고급 CVD 머신입니다. 이 도구는 프로세스를 정확하게 제어하고 안전한 (Safe) 작업을 제공하는 기능을 갖추고 있습니다. 또한 ENDURA 5500은 자산 통합 및 프로세스 자동화를 위해 업계 표준 소프트웨어 패키지와 호환됩니다.