판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9145241

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 고급 증착 및 에칭 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 원자로입니다. 특히, AKT Endura 5500은 열 및 플라즈마 강화 증착 및 에칭 응용에서 박막 및 두꺼운 필름 증착 프로세스와 도전적인 에치 프로세스를 모두 가능하게합니다. 원자로는 실리콘, 질화 티타늄, 갈륨 비소, 텅스텐 및 알루미늄을 포함한 응용을위한 CVD 및 PECVD 공정 단계를 위해 설계되었습니다. AMAT ENDURA 5500 원자로는 고급 증착 및 에칭 프로세스 요구를 위해 설계된 오픈 프레임입니다. 이 개방형 프레임 (open-frame) 설계를 통해 시스템 내부 작업에 보다 효과적으로 액세스할 수 있으므로 유지 관리 작업을 보다 쉽고 신속하게 수행할 수 있습니다. 유연한 아키텍처 (Flexible Architecture) 는 시스템 통합 기능을 제공하며, 다양한 요구 사항을 충족하기 위해 손쉽게 교환할 수 있는 다양한 상호 교환 가능한 구성 요소 시스템을 제공합니다. ENDURA 5500은 RF, Helicon 유도 결합 플라즈마 (ICP), 직류 (DC) 및 펄스 DC 바이어스 모드를 포함한 여러 열 기능을 자랑합니다. 조정 가능한 프로세스 매개 변수는 공정 압력, 소스 가스 펄스 거주 시간 및 RF 전력에서 다양합니다. 또한 특허를받은 Z축 웨이퍼 캐리지 (Z축 웨이퍼 캐리지) 가 있으며, 이를 통해 최대 12 개의 웨이퍼를 동시에 수용할 수 있으며 균일성이 향상되고 처리 효율이 향상됩니다. 이 디자인은 또한 증착 및 에치 단계를 쉽게 분리 할 수 있습니다. AMAT 엔두라 5500 (Endura 5500) 은 사용자가 프로세스 조건을 완벽하게 제어하는 광범위한 기능을 자랑하는 신뢰할 수있는 시스템 인 것으로 입증되었습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 사용자는 프로세스 최적화를 위해 실시간 프로세스 모니터링, 추세 분석, 예측 분석 등을 실시간으로 수행할 수 있습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 자신의 사용자 정의 설정에 전화 접속 (dial-in) 하고 프로세스 성능을 최적화할 수 있습니다. 유사 시스템보다 비싸지만, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500은 진정한 확장성을 제공하며, 높은 처리량 생산에서 더 전문화 된 프로세스 단계에 이르기까지 광범위한 요구를 수용 할 수 있습니다. 많은 반도체와 나노 기술 지향 조직, 대학.