판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9137601

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 반도체 박막 응용 프로그램을 위해 설계된 업계 최고의 퇴적 장비입니다. 탁월한 프로세스 제어 및 균일성, 빠른 주기 시간, 우수한 플라즈마 성능을 제공합니다. 낮은 k 유전체 필름, 질화물 수동층, 확산 층 및 수분 장벽과 같은 고급 증착 응용 분야에 이상적이며, AKT Endura 5500은 모든 증착 공정에 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 도구입니다. AMAT ENDURA 5500은 최대 250 와트의 RF 전력을 생성 할 수있는 고성능 Kemlon 플라즈마 소스를 갖추고 있습니다. 이 강력한 소스를 통해 사용자는 고밀도 플라즈마 (plasma) 를 생성할 수 있으며, 이 플라스마는 대형 패널에 걸쳐 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 적응 동작 제어 기능이있는 로봇 웨이퍼 처리 장치 (robotic wafer-handling unit) 를 갖추고 있어 프로세스 전반에 걸쳐 더 많은 정확성과 균일성을 제공합니다. 또한 AKT ENDURA 5500은 뛰어난 기계 제어 기능을 제공합니다. 도구의 고급 프로세스 제어 (advanced process control) 기능을 통해 사용자는 배치 프로세스의 모든 매개변수를 정확하게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 이러한 매개 변수에는 가스 흐름 및 압력, 기판 바이어스 및 RF 전원 수준이 포함됩니다. 에셋은 인사이트 두께 모니터 (in-situ thickness monitor) 가 있는 인라인 (inline) 프로세스 모니터링 모델을 통해 사용자가 프로세스가 계속되면 필름 두께를 거의 실시간으로 측정할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500은 빠른 프로세스 사이클을 위해 설계되었습니다. 장비의 빠른 기판 전달 시스템 (fast 기판 전송 시스템) 과 다중 구역 열 챔버 (multi-zone thermal chamber) 를 사용하면 웨이퍼를 빠르게 가열하고 식힐 수 있으므로 주기 시간이 단축됩니다. 또한 웨이퍼 캐리어 및 카세트에 편리한 자동 연결을 제공합니다. 이 장치의 자동 처리 (automated handling) 기술은 보다 빠르고 정확한 프로세스 주기를 위해 인간의 개입을 최소화합니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500은 고정밀도, 빠른 주기, 안정적인 플라즈마 성능을 요구하는 업계 전문가에게 이상적인 증착기입니다. 박막 프로세스와 고급 반도체 프로세스에 완벽한 APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 모든 증착 실험실에서 없어서는 안될 자산입니다.