판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9134810

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 다양한 고급 재료 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 고출력 원자로 장비입니다. AKT Endura 5500은 최첨단 설계를 통해 처리량 및 프로세스 유연성이 뛰어납니다. 이 시스템은 RF 소스를 사용하여 여러 프로세스 챔버에 동시에 전원을 공급할 수 있으며 LP-GF14 또는 ICP-GF14 소스로 전원을 공급할 수 있습니다. 이 장치의 독특한 디자인은 고속 가스 분포 (gas distribution) 및 가스 흐름 조정 (gas flow adjustment) 을 가능하게합니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 열적으로 안정적인 진공 용기로 둘러싸여 있으며, 공정 기간 동안 웨이퍼, 서셉터 및 샘플 검사를 위해 공정 챔버에 액세스 할 수있는 쿼츠 창을 갖추고 있습니다. 챔버에는 최대 성능 및 안정적인 프로세스 제어를 보장하는 CVD 코팅 ablator 재료가 늘어서 있습니다. 챔버에는 온보드 적외선 카메라 (옵션) 를 장착하여 평면 처리 매개변수 (plane-of-process parameter) 를 실시간으로 모니터링할 수도 있습니다. AMAT ENDURA 5500에는 레시피 작성 및 데이터 로깅이 용이한 임베디드 (Embedded) 프로세스 제어 소프트웨어 패키지가 장착되어 있습니다. 프로세스 레시피는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 사용하여 설계되었으며, 사용자는 성공적인 증착률에 사용되는 매개변수와 레시피를 쉽게 시각화할 수 있습니다. AMAT Endura 5500의 고급 전자 제어는 또한 뛰어난 프로세스 반복성과 성능 품질을 제공합니다. 빠른 펄스 (fast-pulse) 기능은 빠른 시트 저항과 필름 두께 제어를 허용하는 반면, 미세 조정 (fine-tune adjustment) 은 산화물 증착비 최적화와 같은 특정 기능에 대한 액세스를 제공합니다. 통합 데이터 로깅 패키지에는 상세한 프로세스 데이터가 저장됩니다. 또한, AKT ENDURA 5500은 기판 컨디셔닝을위한 통합 이온 빔 클리닝 기술 (ion-beam cleaning technology) 을 특징으로하며, 통합 클리닝 가스 전달 요구와 결합하여 공정 증착 전에 웨이퍼에서 오염 물질을 제거하기위한 최적화 된 방법을 제공합니다. 엔두라 5500 (Endura 5500) 은 다양한 고급 재료 처리 요구에 적합한 다용도 도구입니다. 이 제품은 프로세스 성능 품질을 극대화하고 공구의 복잡성을 줄이기 위해 설계된 다양한 프로세스 통합 (process-integration) 기능을 통해 신뢰할 수 있는 고성능 머신을 제공합니다. 응용 재료 ENDURA 5500은 고급 재료 처리 요구에 이상적인 선택입니다.