판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9123230

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 다양한 프로세스 및 응용 프로그램에 사용되는 단일 웨이퍼, 배치 형 원자로입니다. 컴팩트하고 효율적인 시스템에서 다양한 기능을 제공하는 다기능 (Multi-functional) 장비입니다. AKT Endura 5500의 주요 기능은 모듈 식 설계로, 소형 단일 웨이퍼 (single-wafer) 작업부터 대규모 배치 유형 (batch-type) 작업까지 다양한 구성을 가능하게 합니다. 이것은 많은 산업, 학술 및 연구 시설에 적합합니다. 또한 특정 처리 매개변수를 준수 할 수있는 2 개의 재순환 펌프 (re-circulation pump) 가 장착되어 있으며, 작동 온도가 낮으면 프로세스 안정성과 수명이 증가합니다. AMAT ENDURA 5500은 또한 고객의 요구에 맞게 구성된 다양한 프로세스를 제공합니다. 여기에는 열 산화, 질화, 어닐링, 에칭, 금속 침착 및 성장 과정이 포함됩니다. 이 제품은 고객의 요구에 맞게 조정할 수 있는 여러 개의 소형판 (showerplate) 어셈블리를 갖추고 있으며, 모노-투-멀티 레이어 (mono-to-multi-layer) 구조를 생성하는 데 사용할 수 있습니다. 원자로는 또한 화학 증기 증착 (CVD), 원자층 증착 (ALD), 스퍼터 증착과 같은 다양한 증착 공정으로 작동하도록 구성 될 수있다. AMAT Endura 5500은 함께 제공되는 유틸리티에 의해 더욱 향상되었습니다. 여기에는 적절한 프로세스 최적화가 가능한 현장 (in-situ) 튜닝 기능과 각 프로세스에 대한 정확한 제어가 가능한 온보드 전원 공급 장치 (On-board Power Supply) 가 포함됩니다. 또한 AKT Logix 3.0 소프트웨어 (모든 프로세스의 상태를 제어하기 위한 최적의 플랫폼) 를 제공하며 모든 프로세스에 대한 선제 모니터링 및 진단을 허용합니다. 마지막으로, APPLIED MATERIALS ENDURA 5500에는 장치의 안전한 작동을 보장하기 위해 몇 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 원자로 섀시, 시각적 모니터 (Visual Monitor) 및 기계 압력 및 온도 모니터링을위한 압력 차등 모니터 (Pressure Differential Monitor) 를 통한 직접 열 경로가 포함됩니다. 이러한 모든 기능을 통해 잠재적인 위험을 쉽게 파악하고 비정상적인 도구 (Tool) 기능을 쉽게 파악할 수 있습니다. 요약하면, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500은 효율적이고 컴팩트하며 유연한 자산으로 다양한 재료를 처리하는 데 이상적인 자원입니다. 모듈식 설계 (modular design) 는 모든 크기의 작업에 적합하며, 다용도 기능을 통해 여러 프로세스를 수행할 수 있습니다. 이 제품은 함께 제공되는 유틸리티와 안전 (Safety) 기능으로 더욱 향상되어 안전하고, 안정적이며, 에너지 효율적인 모델입니다.