판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9112161
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판매
ID: 9112161
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1988-2000
PVD System, 6"
Process: STD AL/TiN
Wafer type: SNNF
Buffer robot: HP
Transfer robot: HP
Wide body load lock with auto-tilt in/out
Sliding sensor kit: no
Chambers A/B:
Chamber type: cool down
Chamber lid: metal lid
Cooling method: By PCW / By Gas
Chamber C:
Chamber type: empty
Chamber process: PCII
RF generator / DC power supply 1: LF-10
RF generator / DC power supply 2: CPS-1001
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: 361C
Chamber D: -
Chamber E: Orient / Degas
Chmaber F: Orient / Degas
Chamber 1:
Chamber type: STD body
Chamber process: TI
RF generator / DC power supply 1: MDX-L18M
RF generator / DC power supply 2: -
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase
Chambers 2/3:
Chamber type: wide body
Chamber process: TiN, P/N: 0010-21844
RF generator / DC power supply 1: MDX-L12
RF generator / DC power supply 2: -
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase
Chamber 4:
Chamber type: STD body
Chamber process: TI
RF generator / DC power supply 1: MDX-L18
RF generator / DC power supply 2: -
RF generator / DC power supply 3: -
Turbo / cryo pump type: cryo pump, 3 Phase
1988 - 2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 원자로는 비활성 대기 중 극한 온도에서 재료 처리 기능을 통해 설계된 초고속 진공 장비입니다. 이 유형의 시스템은 첨단 연구실과 산업생산 (industrial production) 에 사용되어 정밀한 제품을 생산하고 처리합니다. 이 특정 단위는 최대 2000 ° C의 온도와 초고진공 범위의 압력을 가질 수 있습니다. AKT Endura 5500의 챔버에는 재료, 샘플 및 피드 가스를 삽입하기 위해 여러 액세스 포인트가 장착되어 있습니다. 이 기계는 처리 중인 재료의 최소 분해 (degradation) 와 함께 높은 처리율에 도달하도록 설계되었습니다. 챔버 (chamber) 는 표면 촉매 반응 또는 화학 흡수 연구를 위해 UV 광선이 통과 할 수있는 석영 튜브로 만들어진다. 또한 "챔버 '에는 여러 가지 압력 속도 와 온도 로" 프로그램' 될 수 있는 가열 된 조작 "암 '이 들어 있다. AMAT ENDURA 5500 원자로는 고급 다중 구역 가열 도구로 구동됩니다. 이것 은 "실리콘 '," 붕소' 및 인화 "인듐 '과 같은 물질 을 재배 하는 데 필요 한 것 들 사이 의 온도 를 신속 히 전환 시킬 수 있는 거의 확산 없는 가열 을 가능 하게 한다. 난방 자산은 조작기 암 (manipulator arm) 과 함께 사용되어 영역 사이의 재료를 정확하고 빠르게 가열합니다. 이 모델은 터치스크린 (Touch Screen), 빠른 온도 및 프로그램 조정을 위한 임베디드 레시피 (Embedded Recipe) 소프트웨어, 비상 압력 차단 (Emergency Pressure Shut Off) 등의 안전 기능을 포함하여 사용자에게 친숙한 기능으로 설계되었습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Endura 5500 원자로는 재료 가공, 제조 및 연구를위한 효율적이고 다양한 장비입니다. 초고진공, 고급 온도 기능 및 다중 영역 가열을 사용하여 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500은 분해를 최소화하면서 다양한 재료를 빠르고 정확하게 처리 할 수 있습니다.
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