판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9107884
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ID: 9107884
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1998
PVD System, 8"
(3) Wide Chambers
(1) Preclean 2
1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reactor는 기판 처리 장비에 개선되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계 및 개발되었습니다. 저비용, 사용이 간편한 이 플랫폼은 재료, 설계, 프로세스 기술의 최신 혁신을 하나의 장비로 통합하여 다양한 애플리케이션에서 탁월한 성능을 제공합니다 (영문). AKT Endura 5500 원자로는 독점적 인 멀티 태터닝 프로세스를 사용하여 생산성을 향상시킵니다. 독자적인 전극 (electrrodeposition) 시스템을 갖추고 있어 증착 두께 (deposition thickness) 와 속도 (speed) 를 완벽하게 제어하여 광범위한 재료에 걸쳐 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 원자로는 또한 제어 열 가열 시스템 (controlled thermal heating system) 을 통합하여 전체 챔버 전체의 균일 한 온도를 보장하여 공정 안정성 및 반복 성을 향상시킵니다. 원자로는 프로세스 유연성을 위해 설계되었으며, 금속, 유리, 폴리머 등 다양한 재료에 대한 다양한 자동화 모듈을 통합했습니다. 원자로는 최대 기판 무게 7kg으로 직경 최대 5 "의 기질을 처리 할 수 있습니다. 또한 예금 성능에 대한 실시간 모니터링을 제공하는 소프트웨어 패키지도 있습니다. 최첨단 설계에는 서핑 방지, 잠금 및 비상 정지 버튼을 포함한 고급 안전 기능도 포함되어 있습니다. 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 의 편의성은 운영자가 작업 환경에 안전하고 자신감을 느끼도록 도와줍니다. 또한, 원자로에는 다양한 고급 모니터링 장치 (advanced monitoring device) 가 장착되어 시스템 성능 및 중요한 프로세스 매개변수에 대한 실시간 데이터를 제공합니다. 이 정보는 환경 요인의 변화에 따라 적시에 프로세스 조정 (process adjustment) 을 수행하는 데 사용될 수 있습니다. AMAT ENDURA 5500 원자로는 광범위한 프로세스 환경과 호환되도록 설계되었으며, 인건비 (인건비) 를 최소화하기 위해 자동화된 생산 시스템에 통합될 수 있습니다. 또한, 원자로에 대규모 열 교환기가 내장되어 에너지 소비를 최소화합니다. 비용 효율적인 가격과 고급 기능을 갖춘 엔두라 5500 (Endura 5500) 은 모든 기판 처리 작업에 적합한 장치입니다.
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