판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9082608

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ID: 9082608
HP PVD System, 6" (2) Wide body with 11.3 source (1) Standard body with 11.3 source Narrow body load lock Process: Al, TiN, Ti (3) Process chambers (1) PCII chamber (2) Degas / Oriented chambers and TC monitor VHP robot.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 다양한 정밀 재료 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 원자로입니다. 뛰어난 성능과 안정성을 제공하는 통합, 모듈식, 확장 가능한 장비입니다. AKT Endura 5500은 산업 및 연구 응용 프로그램에 최대 유연성을 제공합니다. 최대 8 톤의 재료를 수용 할 수있는 잘 설계된 멀티 레이어 웨이퍼 로딩 및 처리 플랫폼이 특징입니다. 유체 전달, 깨끗한 공간, hi-vacuum 하드웨어 (hi-vacuum hardware) 가 통합되어있는이 시스템은 단순 금속에서 복잡한 중합체 및 도자기에 이르기까지 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. AMAT ENDURA 5500 (AMAT ENDURA 5500) 은 특정 시간에 원자로 프로세스를 모니터링하고 관리하는 독점적 인 VRZ (Virtual Reaction Zone) 뷰를 포함하여 여러 가지 고급 자동화 기능을 제공합니다. 이를 통해 챔버 조건에 대한 자동 및 예측 제어가 가능합니다. 또한 VRZ 뷰 (View) 는 사용자가 이해할 수 있는 그래픽과 텍스트를 사용하여 반응 조건을 로드하고, 평가하고, 모니터링할 수 있도록 하는 사용자 친화적인 인터페이스를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500은 유지 관리 및 서비스 용이성을 제공하여 모든 구성 요소를 손쉽게 수리할 수 있습니다. 온도, 압력 제어 (Pressure Control), 통합 전자 로그북, 데이터 로깅 장치 등 다양한 고급 기능에서 지원됩니다. 이 기계에는 제거 (purging) 도구도 내장되어 있어 종료 후 빠른 제거 및 복구 (recovery) 가 가능합니다. 이렇게 하면 재료 증착 (material deposition) 을 줄여 깨끗 한 기판 을 유지 하고, 사용 된 재료 의 분해 (degrading) 를 줄일 수 있다. APPLIED MATERIALS Endura 5500에는 전기 및 진공 압력 제어를위한 사전 구성된 모듈식 모델 인 통합 Kompakt Asset도 있습니다. Endura 5500은 또한 뛰어난 기판 가열을위한 고출력 펄스 RF 및 온도 조절 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장비는 높은 정밀 가열 제어를 제공하여 주어진 온도에서 균일 한 기판 가열을 보장합니다. 또한, 매우 빠르고 정확한 샘플 난방 및 냉각 기능을 제공하여 처리 시간을 단축합니다. 전반적으로, APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 정밀 재료 처리 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 고급, 고성능 및 유연한 원자로입니다. VRZ 뷰와 같은 고급 자동화 기능을 통해 뛰어난 안정성과 성능을 제공합니다. 유지 보수 및 서비스 용이성, 빠른 제거 및 복구 시스템, 고출력 펄스 RF, 온도 조절 기능 등을 갖춘 AMAT Endura 5500은 까다롭고 정확한 기판 처리에 이상적인 제품입니다.
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