판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9078245

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 원자로는 유기 박막 재료의 연구 및 생산을 위해 설계된 고급 화학 증기 증착 (CVD) 장비입니다. 이 원자로 시스템은 다재다능하며 유전체, 반도체, 유기 필름, 장벽 재료, 자기 재료 등 다양한 재료의 박막을 생산할 수 있습니다. AKT Endura 5500은 비용 효율적이고 공간 절약적인 모듈 식 디자인을 사용하며, 챔버는 2 피트 x 3 피트의 지상 공간 만 필요합니다. AMAT ENDURA 5500 원자로 챔버는 복잡한 증착 공정에 이상적인 강력한 가스 전달 제어 장치를 제공합니다. 일련의 가스 혼합 밸브 (gas mixing valv) 는 챔버 내부의 온도 및 압력 조절을 허용하므로, 최소 가스 사용량으로 높은 증착 속도를 달성 할 수 있습니다. 배달 밸브 설정은 증착 프로세스의 원하는 온도에 따라 자동으로 조정할 수 있습니다. 온도는 실온에서 최대 700 ° C까지 다양합니다. 또한, 압력은 몇 밀리바에서 대기압으로 조정 될 수 있습니다. AMAT Endura 5500 원자로는 또한 박막 재료의 정확한 측정 제어를 제공합니다. 실시간 두께 모니터링 머신을 사용하여 0.1 미크론의 정확도로 최대 5 미크론까지 박막 두께를 측정 할 수 있습니다. 이 모니터링 도구 (monitoring tool) 는 증착된 재료를 최적의 품질로 제어하여 빠르고 빠르게 측정할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500 원자로는 높은 처리량을 허용하는 DRE (Directed Reactive Etching) 기술을 사용합니다. 이 기술은 에어로졸 이온 빔 (beam of aerosol ion) 을 사용하여 기질에서 층을 정확하게 식각 (etch) 하여 피하 두께의 필름 층을 생성합니다. 또한 DRE 공정 (DRE process) 은 필름 증착 공정에서 물질 미세 화학의 정확한 제어를 가능하게하여 나노 물질 연구에 이상적이다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500 원자로는 간단한 유지 관리를 제공합니다. 자산의 모듈식 설계를 통해 서비스 엔지니어는 간편한 액세스/클리닝 (cleaning) 과 손쉬운 부품 제거/교체 (replace of component) 를 수행할 수 있습니다. Endura 5500 원자로는 모델과 운영자 (예: 자동 압력 제어 장비, 슬라이딩 도어) 모두를 보호하기 위해 안전 기능으로 제작되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 원자로는 연구원과 생산 라인 작업자에게 재료 증착의 유연성 및 정밀성을 제공하는 신뢰할 수있는 높은 처리량 CVD 시스템입니다. 온도, 압력, 미세 화학, 나노 물질과 같은 매개변수를 잘 제어하여 최적의 제어 및 품질 출력을 제공합니다.