판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #9030866
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판매
ID: 9030866
PVD system, 8"
System software ver: C8.622
System Platform: Endura
Wafer Shape: SNNF
EMO Type: Turn to Release
CE Safety Mark: English
CIM Configuration: SECS
SBC Version: V452
Mainframe Configuration:
Buffer Robot Type: HP
Buffer Robot Blade: Thin Metal
XFER Robot Type: VHP
XFER Robot Blade: Original Metal
Lid Hoist: Yes
Status Light Tower: RYG
Remote Monitor: Table Mount
Sub-System Configuration:
(1) Chiller: Model: None
Cryo Pump Type: CTI Cryo- on board 8F
Cryo Pump Power: 3 Phase
(2) CompressorS
Compressor Type: 9600
Loadlock Configuration:
Loadlock Type: Narrow body
Auto Rotation: Yes
Cassette Type: 8"
Mapping Function: WFM
Vent Type: Variable Speed
Fast Vent Option: Yes
LLKs NB w/Auto Tilt
A Pass-thru
B Cool Down
E O/D (Std)
F O/D (Std)
C PCII w/Cryo Std
D PVD TiN 101
1 PVD Tungsten (W) HT-ESC - Chamber has UV Flash for ESC E-Clean
2 PVD Hot-Al HT-ESC - Source Assy missing, Process kit still intact.
3 PVD Hot-Al HT-ESC - Source Assy missing, Process kit still intact
4 PVD Al/Cu SLT-ESC Complete
5 Iso-Valve (Manual) -
Bfr HP
Txfr VHP (Style Lid)
PVD Hot-Al Chambers: These are Water-Cooled Chamber bodies (can't use for other processes which use Wide-Body Chambers
Gas Information:
Gas Box Pneumatic Valve: Single
Pneumatic Valve Type: Veriflo
Manual Valve Type: Veriflo
MFC Type: FC-780C
Gas Line Out: Out The Back
Modules:
M/F Yes
Sys/AC Yes
EQ1 Yes
EQ2 Yes
Main/AC Yes
AC Dist Box Yes
Cryo Comp 3 - 9600
Heat Ex Yes, Neslab III
Pumps No Pumps included with any tools
Lift Hoist non-AMAT, Gantry & 250lb hoist
Umbilical Configuration:
Controller to Main AC: 50 Feet
Controller to Mainframe: 50 Feet
Mainframe to Generator: 50 Feet
Remote Monitor: 50 Feet
Mainframe to Compressor: 50 Feet
Main AC to pump: 50 Feet
AC Box to Heat Exchanger: 50 Feet
Controller to Gen Rack: 50 Feet
Gen Rack to Gen Rack#2: 50 Feet
Electrical Configuration:
Line Voltage: 200V
Full Load Current: 487A
Remote Transformer: No
Frequency: 60Hz
Missing Parts:
Chamber E: Orientor PCB
Chamber F: Orientor PCB
Chamber 2: Missing upper chamber lid
Chamber 3: Missing upper chamber lid
Chamber C: Missing upper chamber lid
1995 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 광범위한 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 고급 기능을 갖춘 단일 웨이퍼 처리 원자로입니다. 직관적으로 설계된 이 원자로는 생산성을 극대화하고, 유연성을 처리할 수 있도록 설계되었으며, 사용자가 탁월한 프로세스 기능을 통해 평면적이지 않은 (non-planar), 평면 (planar), 복잡한 장치 구조를 수행할 수 있습니다. AKT Endura 5500에는 고급 트라이 존 (Tri-Zone) 난방 및 냉각 기술로 구동되는 타의 추종을 불허하는 열 (Thermal) 기능이 장착되어 있으므로 전체 웨이퍼 면에서 균일 한 반응의 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 열 성능은 균일 한 흐름 미디어 분사 기술 (uniform-flow media injection technology) 에 의해 더욱 강화되어 프로세스 가스의 정확한 제어 및 균질 한 분포를 제공합니다. 결과적으로, 사용자는 반복 가능하고 일관된 성능으로 최적의 필름 프로파일을 달성 할 수 있습니다. 원자로의 추가 기능으로는 고가용성, 다운타임 감소, 뛰어난 공정 제어 기능 등이 있습니다. 안전 및 환경 보호 측면에서 AMAT ENDURA 5500은 UL/CSA와 같은 안전 표준을 충족하며, 인클로저 (hermetic enclosure) 와 같은 기능을 통해 인력이 위험한 프로세스 재료에 노출되지 않도록 보호합니다. 또한, 원자로에는 쉽고 효율적인 모니터링이 가능한 고급 진단 도구 (Advanced Diagnostics Tools) 와 추가 프로세스 검증 (Process Validation) 이 장착되어 있습니다. 원자로 (Reactor) 는 기존의 열 공정에 비해 확장 공정 창과 결합된 개선 된 공정 균일성 (process unifority) 을 제공하여 유연성 및 처리량을 높입니다. 탁월한 열 성능 외에도 APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 유연한 제어 옵션, 프로그래밍 가능한 피드/벤트 옵션, 효율적인 현장 프로세스 제어를 지원하는 고급 I/O 구성 등을 제공합니다. 또한, 원자로는 화학적 격리 및 저류 모드를 사용하여 효율적인 작동 및 최적화 된 수율을 가능하게합니다. 정밀 모션 컨트롤러로, 사용자는 소규모이지만, 정확한 모션 제어 (motion control) 를 달성할 수 있으며, 빠른 보정을 통해, 타사 시스템으로의 통합도 가능합니다. 요약하면, AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500은 폐기물과 전체 비용을 최소화하는 강력하고 사용자 친화적이며 안전한 원자로입니다. 에너지 절약 기술, 탁월한 열 성능, 다운타임 감소, 탁월한 프로세스 제어 기능 등을 제공하므로 반도체 업계에서 탁월한 선택이 가능합니다.
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