판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293831634

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 드라이 에치 원자로는 가장 복잡한 반도체 설계 규칙을 빠르고 정확하게 처리 할 수 있도록 설계된 최첨단 플라즈마 에치 장비입니다. 이 시스템은 통합 인텔리전스 (Integration Intelligence) 를 통해 고급 프로세스 제어를 제공하여 혁신을 향상시켜 에치 (Etch) 애플리케이션에 도전하는 유연성을 높입니다. 최대 에칭 속도는 5500nm/min이며, 에치 프로세스의 모든 단계를 정확하게 제어 할 수있는 기능입니다. 독점 웨이퍼 모양 인식 장치를 포함한 AKT 엔두라 5500 (AKT Endura 5500) 의 컴팩트 한 디자인으로 표준 fab 공간에 적합하여 fab 바닥 공간 요구량을 크게 줄일 수 있습니다. AMAT ENDURA 5500은 가장 까다로운 프로세스의 확장성을 위해 설계된 혁신적인 도구입니다. 고급 에치 소스 기술을 통해 뛰어난 트림 정확도와 즉각적인 에치 레이트 제어가 가능합니다. 내부 진단 (in-situ diagnostics) 을 통해, 기계는 에치 조건을 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 얇은 필름 균일성을 유지하기 위해 정확한 프로세스 정보를 제공합니다. 또한 특허를받은 MultiGas? 기술을 통해 빠른 가스 스위칭과 최소 재교육 (re-training) 을 통해 o-ring과 vias를 모두 에치할 수 있습니다. 이 도구의 프로세스 제어 및 자동화 기능에는 다중 영역 반응 챔버, 자동 로드/언로드 로봇, 핫 리액티브 이온 에치 플럼 관리 기능, 다중 가스 전달 시스템이 포함됩니다. 또한 포괄적인 프로세스 제어를 통해 프로세스 최적화 (process optimization) 를 보다 효율적으로 수행할 수 있으며, 에치 (etch) 조건을 변경하도록 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한, ENDURA 5500은 여러 개의 레이어를 동시에 에칭하여 단일 실행으로 여러 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 고급 기능은 프로세스 설정을 대폭 간소화하고 운영 시간을 단축합니다. 또한, 통합된 오류 처리 (error handling) 및 고급 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 사전 예방적 유지 관리를 통해 예기치 않은 다운타임 및 잠재적 수리 비용을 줄일 수 있습니다. AMAT Endura 5500 드라이 에치 원자로는 까다로운 공정에 뛰어난 자산입니다. 첨단 기능과 확장성을 통해 복잡한 설계 규칙을 에칭하는 데 매우 유용한 툴이 됩니다. 이 모델의 인상적인 기능을 통해 경제적인 가격으로 고품질 (High Quality) 결과를 얻을 수 있으며, 특히 프로세스의 정밀 에칭이 필요한 고객에게 유익합니다.