판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293819415
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ID: 293819415
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2019
PVD System, 8"
(2) Chambers
(2) Monitors
Wafers run: 50000
2019 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 고정밀 고급 재료 처리를위한 포괄적인 차세대 원자로입니다. 최첨단 진공 기술을 활용하는 이 정교한 장비는 희귀하거나 제조하기 어려운 재료를 정확한 정밀도로 처리할 수 있습니다. 원자로 (reactor) 는 챔버에 존재하는 생산 매개변수 (production parameter) 와 환경 조건을 제어하고 모니터링하도록 설계되었습니다. 대기, 플라즈마, 초고진공 기능 등 다양한 유형의 공정 원자로가 지원됩니다. 입자 생성, 기판 증착 및 에칭 프로세스에 필요한 모든 컴포넌트가 설계에 통합됩니다. 이 시스템은 또한 일련의 공정 챔버 구성, 온도 범위, 챔버 크기를 제공합니다. 이러한 기능을 통해 다양한 까다로운 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다. AKT Endura 5500에는 고급 기판 처리 도구가 포함되어 있어, 전례없는 정확성과 반복성으로 재료를 생산할 수 있습니다. 이 장치에는 특허를받은 "고밀도 기판 홀더 (high-density 기판 홀더)" 가 있으며, 기판과 원자로 챔버 사이의 정교한 압력 제어 및 균일 한 접촉을 제공합니다. 안정적인 플라즈마 소스 및 최적화 된 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 기술은 증착 속도를 높이고 플라즈마 기반 공정에서 우수한 품질을 제공합니다. 이 장치는 열 관리 자동화 (Automated Thermal Management) 기능을 갖추고 있어 프로세스 효율성을 보장하기 위해 모든 열 부품을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 사전 프로그래밍된 알고리즘을 사용하면 온도, 증착률, 압력, 전원 등에 대한 매개변수에서 빠르고 정확하게 다이얼링할 수 있습니다. 온도 사이클링 프로세스를 제어하여 제품의 원하는 구성을 달성 할 수 있습니다. 또한 AMAT ENDURA 5500에는 정교한 안전 기계, 모니터 가스, 인터 록, 경보 및 긴급 연락처가 장착되어 있습니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500은 고정밀 고급 재료 프로세스를 찾는 사람들에게 귀중한 도구입니다. 강력한 기술과 통합 안전 (Integrated Safety) 기능을 통해 희귀하고/또는 제조하기 어려운 재료를 처리하기에 적합합니다.
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