판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293778293

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 플라즈마 에치 및 증착 장비는 고성능 장치 구조를 제조하기위한 고급 에치 및 증착 프로세스를 가능하게하는 정밀도, 다용도, 공정 가능 병렬 판 원자로입니다. 반도체, 광학 및 태양 광 발전 장치의 제작을 위해 특별히 개발 된 AKT Endura 5500은 ECR (Electron Cyclotron Resonance) 및 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 와 같은 프로세스 유연성과 고화질 플라즈마 에치를 제공하는 수많은 기술로 구성됩니다. AMAT ENDURA 5500은 컴팩트하고 신뢰할 수있는 800 MHz ECR 플라즈마 소스, 맞춤형 가스 박스, 통합 프로세스 제어 기능을 갖춘 고급 원격 플라즈마 제너레이터 (Plasma Generator) 를 포함하는 혁신적인 병렬 판 원자로입니다. 정교한 시스템에는 고급 전자 에너지 및 배치 기능, 높은 정확도 프로세스 진단, 고급 온도 제어 장치 (temperature control unit) 도 포함되어 있습니다. 최첨단 평행판 원자로는 고급 공정 유연성, 단단한 온도 조절 및 공정 균일성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 소프트 및 하드 에칭, 패턴 전송, 포토 esist 리프트 오프 및 고급 에피 택시 및 패시베이션 레이어에 적합합니다. 이 장치의 독특한 디자인은 가변 가스 흐름 (etch gas flow) 을 허용하며, 이는 에치 (etch) 와 증착 (deposition) 응용 모두에 사용됩니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500에는 압력과 공정 결과를 제어하기 위해 현장 내 터보 분자 펌프가 장착되어 있습니다. 펌프의 향상된 구성은 더 큰 압력 범위를 허용하며, 탁월한 프로세스 제어 및 DDE (direct dry etching) 와 같은 혁신적인 새로운 기술을 활용할 수있는 기능을 제공합니다. 또한 AKT ENDURA 5500은 강력한 Levey-Jennings/X-Y 모니터링 및 자동화된 프로세스 인증을 제공합니다. 정확도가 높은 진단 및 열 프로세스 추적을 통해, 기계는 우수한 프로세스 균일성을 보장합니다. 혁신적인 디자인의 결과로 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500은 반도체, 태양광 및 MEMS 장치의 정밀 제조에 이상적인 선택입니다. 이 툴에 포함된 첨단 기술을 통해 프로세스 엔지니어 (Process Engineer) 와 기술자는 품질 저하 없이 클라이언트의 운영 처리량을 최적화할 수 있습니다. 또한, 자산의 원격 플라즈마 생성기와 자동화된 프로세스 검증을 통해 탁월한 결과를 얻을 수 있습니다.