판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293768842

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 원자로는 복잡한 반도체 장치의 생산에서 전기 화학 증착 및 에치와 같은 중요한 반도체 처리 작업을 가속화하고 용이하게하도록 설계된 전문 도구입니다. 이 초고진공 (UHV) 원자로는 금속화 레이어, 유전체 필름, 절연 필름, 이방성 전도성 필름, 포토 esist 레이어 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 고성능 디자인과 함께 제공되는 이 광범위한 처리 기능을 통해 AKT 엔두라 5500 (Endura 5500) 은 다양한 작업에 대한 신뢰할 수 있는 처리 스테이션으로 만들 수 있습니다. AMAT ENDURA 5500은 다중 프로세스 기능을 지원하는 UHV 원자로입니다. 이 시스템은 업계 표준 메카트로닉 (mechatronic) 아키텍처를 사용하여 유지 보수를 최소화하고 최대의 신뢰성을 제공합니다. 고출력, 다중 소스 플라즈마 소스는 다양한 에치 프로세스에 대해 낮은 무선 주파수 (RF) 전력, 펄스 RF 전력 및 저온 DC 바이어싱을 제공 할 수 있습니다. 또한, 다중 소스 (multi-source) 기능을 통해 시스템은 엄격한 프로세스 제어 및 에치 가스 사용에 이상적인 선택이 됩니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 양방향 터보 분자 펌프와 간접 가열을 갖춘 4 중 게이트 열 소스를 사용하여 저압, 고온 플라즈마 처리를 달성합니다. 시스템의 온도 조절 플랫폼은 온도를 섭씨 1도 이내로 제어 할 수 있으며, 이는 저온 폴리머 (low-k polymer) 및 유전체 증착 (dielectric deposition) 과 같은 프로세스에 이상적입니다. 또한, 이 열원은 광범위한 기판에서 온도를 제어 할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS Endura 5500에는 고정밀 제스처 인식 및 로봇 동작 제어 기술이 포함되어 있어 정확하고 자동화된 웨이퍼 처리 및 포지셔닝이 가능합니다. 이 최첨단 기술은 프로그래밍 가능한 레시피 스크립팅 기능과 연산자가 자동화되고 반복 가능한 레시피 (Recipe Scripting) 를 신속하게 만들 수 있게 해 주며, 빠른 주기 (Cycle Time) 및 운영 비용 절감 효과를 제공합니다. AMAT Endura 5500은 프로세스 분석, 데이터 로깅, 도량형, 재료 추적 시스템과 원활하게 통합할 수 있도록 설계되었으며, 소규모 및 대규모 운영 환경 모두에 이상적인 솔루션입니다. 직관적인 운영자 인터페이스 (Operator Interface) 는 사용자에게 친숙한 운영을 보장하는 반면 실시간 분석 및 원격 진단 기능은 다운타임을 대폭 줄여줍니다. 엔두라 5500 (Endura 5500) 은 복잡한 작업을 손쉽게 처리하면서 광범위한 처리 요구 사항을 충족할 수 있는 다용도, 고정밀 (high-precision) 처리 툴이 필요한 운영에 적합합니다. 높은 성능, 신뢰성, 자동화된 기능을 통해 운영 비용을 대폭 절감하면서 운영 요구 사항을 충족할 수 있습니다 (영문).