판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293762777
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500 Reactor는 고급 nanofabrication grandfathered 도구로 매우 낮은 소음 전자 제작을 가능하며 프로세스 성능이 뛰어납니다. 최적화된 환경을 제공하므로 뛰어난 안정성, 반복성, 고성능 디바이스 제작을 위한 향상된 처리량을 제공합니다. 3 개의 존 디자인은 최대 10cm 이동 범위로 300mm의 최대 기판 크기를 허용합니다. 챔버는 2 개의 정전기 활성 챔버와 단일, 수동, 기판 하중/언로드 챔버로 구성됩니다. 활성 챔버는 뒷면 및 전면 처리를 위해 설계되었으며, 다층 유전체 필름, 금속 필름, 금속 산화물 필름 등 다양한 유형의 기질에서 뛰어난 공정 기능을 제공 할 수 있습니다. AKT Endura 5500에는 0.25um 간격 처리가 가능하며, 민감한 프로세스 및 컴포넌트에 대한 저온 기능이 있습니다. 또한 혁신적인 가스 믹싱 시스템 (gas mixing system) 을 제공하여 프로세스 환경을 정확하게 제어할 수 있으며, 입자 오염을 최소화하고 프로세스 성능을 개선하도록 설계되었습니다. AMAT ENDURA 5500은 백사이드 (backside) 및 프론트 사이드 (frontside) 처리 기능을 통해 사용자가 챔버 간 웨이퍼를 전송하지 않고도 제조 프로세스를 완료할 수 있습니다. 또한 매우 정확한 증착 과정을 위해 통합 된 마이크로 파 방사선 전달, 유연한 전극 정렬 및 비 산화 전구체 도입 기능을 갖추고 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500에는 고성능 프로세스 컨트롤러가 장착되어 있어 간편한 액세스, 실시간 프로세스 제어 및 모니터링, 간편한 프로그래밍 기능 및 데이터 수집이 가능합니다. 다양한 장치 및 재료 유형에 대한 통합 레시피 라이브러리뿐만 아니라, 매우 효율적인 드래그 앤 드롭 (drag-and-drop) 프로그래밍 인터페이스를 제공합니다. 전반적으로 AKT ENDURA 5500 Reactor는 복잡한 2D 설계에서 더 많은 표준 3D 응용 프로그램까지 장치 제작을위한 훌륭한 플랫폼을 제공합니다. 이 제품은 매우 낮은 소음 제작, 강력한 프로세스 기능, 간편한 프로그래밍 기능을 제공하여, 고정밀 (high-precision) 작동과 신뢰성 있는 장치 제작에 이상적인 툴입니다.
아직 리뷰가 없습니다