판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293758650
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ID: 293758650
빈티지: 1996
PVD System
Controller
NESLAB
Transformer
Does not include chamber
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Endura 5500 원자로는 반도체 제조 공정을 위해 설계된 고급적이고 정교한 장비입니다. AMAT의 주력 제품 중 하나 인 AMAT Endura 5500 원자로는 집적 회로 제작에 사용되는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에 박막 증착을위한 최첨단 기술, 정밀 제어 및 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 원자로는 다양한 재료를 처리하는 데 안정성, 효율성, 다용도로 반도체 업계에서 널리 활용되고 있습니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 원자로는 수직 배치 처리 챔버로, 처리량을 높이고 공간을 효율적으로 활용할 수 있습니다. 로봇 웨이퍼 처리 시스템, 고급 가스 전달 장치, 온도 제어 모듈, 플라즈마 생성 (plasma generation) 기능 등 최첨단 하드웨어 구성 요소가 장착되어 있습니다. 원자로는 여러 프로세스 모듈을 수용하도록 설계되어 화학적 증기 증착 (CVD), 물리적 증기 증착 (PVD), 원자층 증착 (ALD) 및 플라즈마 강화 화학 증착 (PECVD) 과 같은 광범위한 증착 기술을 가능하게합니다. APPLIED MATERIALS Endura 5500 원자로의 주요 구성 요소에는 진공 챔버, 공정 가스 입구 기계, RF 플라즈마 소스 및 웨이퍼 처리 메커니즘이 포함됩니다. 진공실은 박막 증착 공정에 필요한 저압 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 공정 가스 유입 도구 (process gases inlet tool) 는 다양한 증착 레시피에 대한 가스 흐름 속도 및 조성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. RF 플라즈마 소스는 플라즈마 방전을 생성하여 필름 품질 및 증착률을 향상시킵니다. 웨이퍼 처리 메커니즘은 증착 과정 전반에 걸쳐 정확한 위치 지정 및 웨이퍼 전송을 용이하게합니다. ENDURA 5500 원자로는 일관되고 반복 가능한 결과를 보장하기 위해 고급 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 이 자산에는 분광형 타원법, 질량 분석법, 광학 방출 분광법 등 in-situ 모니터링 및 제어 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 도구를 사용하면 필름 두께, 컴포지션, 균일성을 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 이를 통해 최적의 필름 품질을 위한 매개 변수를 즉시 조정할 수 있습니다. 원자로 (reactor) 는 또한 레시피 개발, 프로세스 최적화, 데이터 분석을 위한 사용자에게 친숙한 플랫폼을 제공하는 정교한 소프트웨어 인터페이스와 통합됩니다. 이 소프트웨어는 프로세스 레시피 저장, 프로세스 데이터 로깅 (Logging Process Data), 품질 관리 및 추적성 (Traceability) 을 위해 종합적인 보고서 생성 등을 수행할 수 있습니다. 또한, 원자로에는 작동 중 (operator protection) 및 모델 무결성을 보장하기 위해 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 요약하자면, AMAT/APPLIED MATERIALS ENDURA 5500 원자로는 반도체 산업에서 박막 증착을위한 최첨단 도구입니다. 고성능 기능, 고급 프로세스 제어 기능, 사용자 친화적 인터페이스 등을 갖춘 엔두라 5500 (Endura 5500) 원자로는 최신 반도체 제조 공정의 까다로운 요구 사항을 충족하는 다용도, 신뢰성 있는 솔루션입니다. 강력한 디자인, 효율적인 운영, 뛰어난 영화 품질을 통해 전 세계 주요 반도체 제조업체에게 선호되는 선택입니다.
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