판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Endura 5500 #293752145
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 293752145
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
PVD System, 8"
Signal cables: 25 M
(1) NESLAB
(2) Cryo compressors 9600
(2) Frequency converters
(2) Gen racks
Turbo Controller
RF and DC generator for Ch1/2/3/4/C/D
System configuration:
SNNF
HP Robot
Ch 1: A101 TiN
Ch 2: STD Al
Ch 3:STD Al
Ch 4: A101 TiN
Ch C: PCII
Ch D: PCII
Chambers:
LL: Widebody universal rotate
CH E: Orient/Degas
CH F: Orient/Degas
CH A: Passthrough with clear lid
CH B: Cooldown with clear lid
CH C: PCII / Comdel 13.56Mhz and RFPP 400kHz
CH D: PCII / Comdel 13.56Mhz and RFPP 400kHz
CH 1: Widebody G12 TiN – No shutter / AE MDX-L 12M-650
CH 2: Standard Body 12.9” Al / (2) AE MDX-L 12M
CH 3: Standard Body 12.9” Al / (2) AE MDX-L 12M
CH 4: Wideobdy G12 TiN – AE MDX-L 12M-650
System controller SBC Board missing
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Endura 5500은 고급 반도체 처리를 위해 설계된 최첨단 원자로입니다. 이 원자로는 화학 증기 증착 (CVD) 을 통한 고급 재료 제조에 널리 사용되는 플랫폼입니다. AKT Endura 5500은 광범위한 프로세스 응용 프로그램을 위해 최적의 온도, 압력 및 가스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 또한 5500은 높은 처리량 (throughput) 과 균일 한 증착율을 제공하여 더 높은 수율과 저렴한 비용을 제공합니다. 이 장비는 빠르고 일관된 처리를 위해 강력한 8 웨이퍼 배치 박스를 갖추고 있습니다. AMAT ENDURA 5500은 최고의 유연성과 반복 성을 제공하는 강력한 하드웨어/소프트웨어 플랫폼으로 제작되었습니다. 하드웨어에는 AMAT Endura 5500 PC 제어 프로세스 컴퓨터, 프로세스 제어 센터 및 자동 가싱 시스템이 포함됩니다. Endura 5500은 또한 다양한 기능을 제공하여 높은 수준의 처리 성능을 보장합니다. 이 장치에는 내부 쿼츠 뷰포트와 저온 증착 기능이 포함되어 있습니다. 내부 뷰포트 (internal viewport) 를 사용하면 프로세스 진행률을 실시간으로 모니터링할 수 있고, 저온 증착 (low-temperition deposition) 은 다양한 증착 재료와 온도를 사용할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고급 안전 기능과 통합되어 안전한 작동을 보장합니다. APPLIED MATERIALS ENDURA 5500은 MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition), LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition), HPCVD D 증착 증착 (HECC OSP OSP OSP etITION P OSP etITION P etion) 및 Aletion, Letion, 이 도구는 또한 가변 온도 강착 (VTD) 및 상수 온도 영역 (CTZ) 을 포함한 다양한 온도 제어 모드를 제공합니다. 마지막으로 ENDURA 5500은 신뢰성이 높고 내구성이 뛰어난 원자로 자산입니다. 이 모델은 진동 및 충격 방지 (shock-resistance) 성능에 대한 견고한 구성을 제공하여 장비의 가동 시간을 극대화하고 프로세스 변형을 줄입니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT ENDURA 5500은 유지 보수가 용이한 사용자 친화적 인 인터페이스를 자랑합니다. 이러한 모든 기능을 통해 APPLIED MATERIALS Endura 5500은 고급 nanofabrication, 칩 제작 및 밀도 확장 어플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다.
아직 리뷰가 없습니다